Occasion KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293798807 à vendre en France
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KARL SUSS/MICROTEC Gamma est un équipement de photorésistance conçu pour les procédés de microfabrication et de nanofabrication. Ce système utilise des techniques de lithographie de projection pour transférer un motif d'un masque à un substrat. Il peut être utilisé pour développer des motifs photorésistants avec une précision dimensionnelle à l'échelle du micron et du nanomètre. L'unité est équipée de sources lumineuses ultraviolettes (UV) et d'optiques pour l'éclairage. Cela comprend un laser à excimère de 198 nm, un laser à fluor de 157 nm et un ensemble d'ouvertures numériques variables (NA). Il peut également utiliser des rayonnements en ligne g (436 nm), en ligne i (365 nm) et en UV profond (248 nm) ou des combinaisons de longueurs d'ondes lumineuses pour élargir le spectre d'exposition. La machine est conçue avec des capacités avancées d'exposition et de marquage, y compris un alignement automatisé de plaquettes, des marqueurs d'alignement, un outil de mouvement précis, une modulation d'intensité programmable en plein champ, des fonctions auto-focus et auto-rafraîchissement, et une étape de repositionnement. Il permet également des traductions d'exposition (décalages) et une imagerie haute résolution des zones photorésistantes structurées. MICROTEC Gamma est construit dans un format standard de banc et offre un traitement humide pratique des matériaux photorésistants avec un disque chauffant de filage. En outre, l'actif peut facilement s'intégrer dans un environnement de traitement à sec planaire propre sous vide afin de créer des structures à couches multiples et des processus Nanoimprint. KARL SUSS Gamma offre un débit et une stabilité pour une modélisation de haute précision pour les projets les plus exigeants dans les domaines des micro et nanotechnologies, permettant le développement de fonctionnalités avec des dimensions de quelques nanomètres jusqu'à plusieurs micromètres. Cela garantit que les composants fabriqués seront précis et possèdent des propriétés adaptées à une grande variété de technologies, telles que MEMS, capteurs, dispositifs optoélectroniques et biomédicaux. En outre, le modèle dispose d'un équipement de collecte des déchets, d'une connexion réseau et d'une fenêtre de protection en verre dans la chambre à vide. Enfin, un puissant logiciel convivial, Suss MICROTEC Premiere™, permet à l'utilisateur de créer rapidement et facilement des masques, d'importer des données et d'enregistrer automatiquement les détails de chaque exposition.
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