Occasion KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293814499 à vendre en France
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ID: 293814499
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2006
Spin coater, 8"
Coating module
No gearset cover
(2) Input/Output (I/O) ports
Genmark GB4 Robot
Mechanical centering station
(3) Hotplates
(2) Coolplates
No HMDS module
(2) Waste tanks
Wafertec F-30/F Photoresist pump
2006 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Gamma est un équipement de photorésistance conçu pour la microfabrication haute résolution. La photorésist est un matériau photosensible qui est utilisé pour créer des motifs sur un substrat pour la microfabrication. Le système MICROTEC Gamma utilise une unité d'éclairage à fibres optiques de haute précision capable de positionner avec précision et d'exposer une grande variété de photorésistes avec des images à haute résolution. Cette machine dispose également d'une étape de pré-alignement intégrée qui permet de positionner le substrat avec précision devant la lentille pour le processus d'exposition. L'outil KARL SUSS Gamma est idéal à la fois pour les processus de photolithographie à un seul niveau et pour les processus à plusieurs niveaux utilisant plusieurs couches de résistance. Il est capable de produire des motifs avec des tailles de caractéristiques allant de 10 micromètres à moins d'un micromètre en utilisant différents types de résistances, y compris des résistances standard, négative et positive. Gamma asset a une conception modulaire qui permet d'utiliser différentes tailles de plaques et différentes configurations de photolithographie en fonction de l'application. Le modèle KARL SUSS/MICROTEC Gamma est également extrêmement précis et reproductible, permettant de produire des motifs avec une grande précision et répétabilité. Le processus d'exposition de l'équipement MICROTEC Gamma peut être contrôlé avec une variété de paramètres, y compris le temps d'exposition, la puissance de la lampe, la longueur d'onde et la position de focalisation. Cela rend le système approprié pour appliquer des motifs avec haute résolution et répétabilité d'image. Une caractéristique unique de l'unité KARL SUSS Gamma est sa commande de déplacement au foyer, qui permet une surveillance précise et répétable de la position au foyer lors d'une exposition. Cela permet d'éviter le flou des images en raison de la focalisation incorrecte et assure la plus haute résolution des images. La machine Gamma comprend également un outil de refroidissement à effet Peltier pour contrôler avec précision et précision la température de la couche de résiste lors de l'exposition. Ceci permet d'éviter des variations indésirables de la viscosité de la résistance, conduisant à une meilleure résolution et répétabilité des motifs. De plus, KARL SUSS/MICROTEC Gamma comprend une variété d'autres fonctionnalités pour faciliter son fonctionnement, comme un viseur optique pour inspecter les porte-masques et les substrats, un modèle de suivi auto-focus programmable et un programme « mode minuterie » pour contrôler le temps d'exposition et d'autres paramètres. Dans l'ensemble, l'équipement MICROTEC Gamma est un système photolithographique exceptionnel pour la microfabrication haute résolution, offrant précision, précision et répétabilité pour les applications les plus exigeantes.
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