Occasion KARL SUSS / MICROTEC Gamma #9314869 à vendre en France
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KARL SUSS/MICROTEC Gamma est un équipement de photorésistance conçu pour la fabrication de composants microélectroniques et optoélectroniques. Le système est un outil automatisé et multifonctionnel pour la lithographie et fournit des résultats précis et reproductibles. Il convient au traitement de substrats plats d'une taille maximale de 150 mm et d'une taille minimale de 0,2 μ m. L'unité intègre plusieurs technologies telles qu'un couteur et un développeur de résines, un stepper/scanner, un interféromètre laser et un générateur d'images et de motifs. Les composants de la machine peuvent travailler ensemble pour une variété d'applications, y compris les techniques de films ultra-minces. L'outil offre également une variété de capacités de lithographie, y compris l'échelle de gris, binaire, contact, proximité, et les plans d'exposition étape-et-répétition. Le scanner est capable de manipuler des distances lentille-photomasque de 0,5 à 24 mm avec une précision d'alignement de quelques nanomètres. L'actif peut générer des motifs haute résolution avec une résolution jusqu'à 0.5000 μ m et une précision de 0.2 μ m. Le modèle permet un contrôle précis de l'épaisseur du revêtement, de l'intensité et de la durée de l'exposition, ainsi que du temps et de l'état de développement. L'équipement intégré de métrologie MST utilise un interféromètre laser pour inspecter les structures exposées sur le substrat conçu. Cela permet d'assurer des résultats reproductibles avec un minimum de temps d'arrêt et d'éviter un retravaillement excessif dû à un mauvais alignement ou à des irrégularités inattendues. Le système comprend également un logiciel intégré pour la gestion des tâches, le contrôle multi-utilisateurs, l'automatisation des processus et l'analyse des données. Ce logiciel aide les utilisateurs à créer, gérer et stocker des modèles rapidement et facilement, et à minimiser le temps de développement. En outre, l'unité offre un générateur d'image haute précision amélioré pour l'exposition de divers types de motifs avec une résolution et une précision améliorées. En conclusion, MICROTEC Gamma est une machine photorésiste automatisée et modulaire offrant des résultats précis et reproductibles pour la fabrication de composants microélectroniques et optoélectroniques. Il intègre une gamme de technologies et de fonctionnalités pour fournir des résultats cohérents avec un temps d'arrêt minimal. Il est adapté à des applications haute résolution et haute précision, et offre un progiciel intégré pour la gestion des tâches, le contrôle multi-utilisateurs et l'automatisation des processus.
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