Occasion KARL SUSS / MICROTEC RC 8 #9207171 à vendre en France

KARL SUSS/MICROTEC RC 8 est un équipement de photorésistance, spécialement conçu pour la production de microstructures à haute résolution et de circuits intégrés. Ce système utilise une seule couche de résist qui est exposée à la lumière ultraviolette (UV) pour créer une image de résist de faisceau d'électrons. Ce dispositif est capable de produire des motifs haute résolution avec des caractéristiques de taille inférieure à μ m sur des plaquettes jusqu'à 8 "de diamètre avec une résolution de 5 μ m. L'unité MICROTEC RC 8 est conçue pour les modes d'exposition sans contact et sans contact. En mode sans contact, l'échantillon est maintenu en place lors d'une exposition de résistance à l'aide d'un mandrin sous vide. On utilise alors un faisceau d'électrons pour programmer les géométries appropriées sur la surface de la résine selon un motif chargé. En mode contact, on utilise un masque de résine en forme de pochoir pour exposer la surface de la plaquette. En termes de précision, cette machine a une résolution de taille de fonctionnalités de 5 μ m et peut exposer des motifs jusqu'à 10 μ m longueurs de ligne d'exposition. L'outil comprend également une Hotplate avec une température maximale de 250 ° C Ceci permet un processus optimisé de transfert du motif de la couche de résiste sur le matériau sous-jacent. De plus, l'actif peut également être exploité dans l'air, l'azote ou le vide. Cela permet aux producteurs de copeaux de réduire la production de contaminants pendant le processus de fabrication. Le modèle KARL SUSS RC 8 est équipé de multiples fonctions de sécurité qui le rendent convivial et sûr à utiliser. Il dispose d'un boîtier de protection qui protège l'utilisateur de la lumière UV, d'un verrouillage pour empêcher l'exposition accidentelle à la lumière UV, ainsi que d'une source alpha qui aide à déterminer la zone de blocage du motif lorsque l'image est exposée. En outre, l'équipement peut être utilisé avec divers matériaux de résistance et est facile à nettoyer entre les lots de plaquettes. Dans l'ensemble, le système RC 8 est capable de produire des motifs à haute résolution sur des plaquettes avec des résolutions de taille inférieure à 5 µm. Il est également équipé de plusieurs dispositifs de sécurité et est facile à utiliser. Avec son large éventail de capacités, l'unité est idéale pour la production de microstructures haute résolution et de circuits intégrés.