Occasion KARL SUSS / MICROTEC RC 8 #9223422 à vendre en France
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ID: 9223422
Taille de la plaquette: 8"
Spin coater, 8"
CT62 Programmable process controller.
KARL SUSS/MICROTEC RC 8 est un équipement de photolithographie de précision utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Fonctionnant en salle blanche, ce système fournit des composants et des matériaux utilisés dans les circuits intégrés (IC) et les appareils électroniques. Produit par le fabricant allemand MICROTEC GmbH, MICROTEC RC 8 apporte une photolithographie avancée à l'échelle industrielle. L'unité est composée d'une plaque de procédé scellée sous vide (Wafer Chuck) et d'une table réticulaire, puis la plaque de procédé est utilisée pour charger la plaque qui varie de 4 pouces à 8 pouces dans la taille. Cela garantit la sécurité de la plaquette lors des processus de transfert de motifs. Une série de lentilles sont utilisées et la lumière réfléchie du réticule sera ensuite recueillie par la lentille vers la plaquette pour revêtir la surface d'un matériau photorésistant. Le mécanisme crée des composants sur chaque plaquette efficacement grâce à des expositions successives de réplications d'images de lumière et de miroir de la table réticulaire. De plus, la machine permet des champs pas à pas variables qui offrent une plus grande flexibilité lors du réglage des alignements de masques. La seule intégration des capacités d'alignement de haute précision et sa suppression de la lumière transmise par diffraction et absorption apporte d'autres avantages au procédé de fabrication de l'IC. KARL SUSS RC 8 assure également des processus de transfert de motifs réussis grâce à sa précision de recouvrement supérieure par rapport à d'autres systèmes. Il adopte un champ d'analyse et de focalisation indépendant pour garantir une précision ultime dans l'alignement des motifs de masques. En combinant un tampon de trame avec la mesure du faisceau laser, l'outil a encore amélioré sa précision grâce aux mesures des faisceaux laser éclairés. L'actif est équipé d'un modèle de suivi automatisé des plaquettes pour surveiller la position optimale de toutes les plaquettes pendant le processus. La connexion de la salle blanche est assurée avec ses systèmes intégrés de distribution de gaz et ses manutentionneurs robotiques de plaquettes. Ces spécifications techniques avancées assurent aux utilisateurs des performances de photolithographie supérieures à presque toutes les occasions. Dans l'ensemble, RC 8 est un équipement de fabrication très fiable qui apporte des capacités de photolithographie peu coûteuses et performantes à la production de circuits intégrés (IC). En utilisant son suivi automatisé des plaquettes et ses champs de lecture et de focalisation indépendants, l'équipement est capable de produire des puces IC jugées supérieures en qualité et en longévité qui s'avèrent être un grand avantage dans de nombreux processus actuels de fabrication électronique.
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