Occasion KARL SUSS / MICROTEC RC 8 #9394308 à vendre en France
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ID: 9394308
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2000
Spin coater, 6"
Maximum rotation speed: 7000 RPM
Minimum step: 10 RPM
Maximum acceleration: 5000 RPM/s
Time range: 0-999 Sec
2000 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC RC 8 est un équipement de photorésistance automatique conçu pour la micro-structuration avancée et la micro-lithographie. Il utilise un aligneur et une tête d'exposition pour obtenir des résultats très précis dans le façonnage de la micro-structure. MICROTEC RC 8 a un processus en deux étapes de la rotation de la résistance et de l'exposition douce. Le filage de la résine assure une épaisseur uniforme et est suivi d'une exposition douce qui contrôle l'intensité et le temps d'exposition de la tête d'exposition. KARL SUSS RC 8 aligner a un étage réglable en hauteur et une vitesse de rotation jusqu'à 3000 tr/min pour tourner le film photorésist. Il dispose également d'un alignement de diode laser, d'un auto-alignement du phototool, d'un contrôleur de résistance/cuisson/bande et d'un système guidé visuellement pour assurer un alignement et un transfert précis du motif sur le substrat. L'unité d'exposition contient une tête d'exposition avec une plage de temps d'exposition de 0,03 à 2,75 secondes et une puissance d'éclairage de 10 W/cm2. Il dispose également d'une lentille de collimateur pour assurer une exposition uniforme du film de photorésist. La machine dispose également de tiges de carbure pour un mouvement linéaire précis et répétable et d'un mandrin sous vide pour sécuriser le film photorésist pendant l'exposition. L'outil a également une fonction de pré-cuisson de résistance pour préparer le film à l'exposition. La chambre de cuisson contient trois porte-échantillons pour des températures de pré-cuisson allant jusqu'à 175 ° C La chambre bande/décapant maintient six porte-plaquettes pour le dénudage et le nettoyage de la résistance de la surface de l'échantillon. Cet actif est également capable de charger et décharger automatiquement des plaquettes et de gérer des tirs de résistance jusqu'à 6 ". RC 8 peut traiter une variété de substrats tels que le silicium, le verre, les métaux et les plastiques. Il peut également être utilisé pour la fabrication de couches ultra minces de matériaux tels que l'or, le cuivre, l'aluminium, le titane et le chrome. Ce modèle est largement utilisé pour la fabrication d'appareils électroniques de qualité, de films optiques et d'applications biomédicales. Il s'agit d'un équipement automatique conçu pour des applications de haute performance et avancées en micro-structuration.
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