Occasion LEYBOLD APS 1104 #293794881 à vendre en France

Un LEYBOLD APS 1104 est un équipement de photorésistance conçu pour le traitement contrôlé et automatisé par voie humide des plaquettes semi-conductrices dans un environnement de production. Le système APS 1104 est une plate-forme à cadre ouvert qui utilise une conception à deux niveaux, permettant un maximum d'efficacité et de sécurité dans un environnement de production. Il dispose de quatre modules de traitement individuels, chacun fonctionnant indépendamment avec des contrôles dédiés pour chaque module, permettant un contrôle de processus idéal. Le niveau supérieur de l'unité est constitué d'un convoyeur, qui transporte des plaquettes du poste de chargement aux quatre modules de traitement. Le convoyeur peut être préréglé pour déplacer les plaquettes à des vitesses et des intervalles prédéterminés, permettant des temps de traitement reproductibles et précis. Le niveau inférieur de la machine contient les réservoirs de solution de traitement dans lesquels les chambres de traitement de chaque solution de module tirent. Les quatre modules de traitement de la machine sont utilisés pour le traitement humide des plaquettes semi-conductrices. Le premier module effectue le processus de filage de résines en appliquant du matériau photorésist sur la surface de la plaquette. Les deuxième et troisième modules effectuent respectivement le développement et l'implantation, tandis que le module final effectue le décapage pour éliminer le matériau photorésist. Chacun de ces quatre modules utilise un tambour rotatif composé de pales pour transporter les plaquettes dans une chambre de procédé, apte à traiter simultanément les deux côtés de la plaquette. Les tambours de procédé contiennent des éléments chauffants et des commandes, ce qui permet de régler la température et de contrôler le processus avec précision. LEYBOLD APS 1104 offre également un certain nombre de fonctions de sécurité intégrées. L'outil est conçu pour permettre un maximum d'accessibilité et de contrôle à partir d'une position de l'opérateur, permettant de surveiller l'ensemble de l'actif à partir du panneau avant. Les systèmes d'alarme et les feux d'alarme peuvent avertir l'opérateur du danger potentiel de débordement des réservoirs ou des machines atteignant leurs limites de température de fonctionnement. L'APS 1104 est un excellent modèle de photorésist pour le traitement automatisé des semi-conducteurs par voie humide, offrant un maximum de sécurité, de précision et d'efficacité pour les environnements de production.