Occasion LEYBOLD APS 1104 #9092775 à vendre en France
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ID: 9092775
Style Vintage: 2009
Evaporator
Mechanical pump
Quartz head monitoring
Diffusion pump
Root pump
Dual E-beam guns
MFC's Chambers
Coating materials: TA2O5 and SIO2
Arch fixture
Pumping system:
Mechanical pump set:
(2) Stages: Single stage / Dual stage
Rotary
Roots
RUVAC WS501 11732
TRIVAC D65B
Diffusion pump ((7) Screw connections)
OMS 3000 Optical monitoring system
Poly cold unit
Film thickness monitor:
XTC-3 Crystal film thickness monitor
Single quartz crystal
APS System:
APS Plasma source
Standard leycom APS
K9 APS Control unit
TA150 APS Power supply unit
TP250 APS Heater unit
EB-Gun system:
(2) EB Guns ESV14
EB Gun HV 10.3
Shielding:
Cooling water division
LEYBOLD APS 1104 Manual
Voltage: 380 V
2009 vintage.
LEYBOLD APS 1104 est un équipement de photorésistance spécialement conçu pour fournir aux utilisateurs un flux de travail complet et précis pour les processus de lithographie. Le système est composé d'un ensemble d'outils qui permettent aux utilisateurs de modéliser avec précision l'exposition et de développer des processus de lithographie dans un cadre quelconque. Au cœur, l'APS 1104 utilise un procédé en 4 étapes pour préparer les surfaces des plaquettes. Tout d'abord, la plaquette est exposée à une source lumineuse capable de générer à la fois des rayons ultraviolets (UV) et des rayons ultraviolets profonds (DUV). Cette exposition durcit et sensibilise la résine photosensible. D'autre part, la résine photosensible est développée dans un bain de révélateur pour exposer le substrat sous-jacent. Troisièmement, la plaquette est soumise à un processus de gravure humide pour définir le profil d'exposition. Enfin, la plaquette est soumise à une gravure de post-traitement, au cours de laquelle le motif exposé est converti en profil 3D désiré. L'unité dispose également d'un certain nombre de caractéristiques impressionnantes, comme sa machine d'imagerie optique avancée, qui peut détecter des non-linéarités de champ lointain aussi petit que 10nm. Cet outil aide à réduire la contamination de la résine photosensible et travaille avec l'actif de mouvement pour ajuster le foyer de la lumière afin d'exposer avec précision l'ensemble du champ de vision. LEYBOLD APS 1104 peut également traiter jusqu'à 1000 plaquettes par heure, garantissant que les temps de développement sont un maximum de 20 minutes par motif. Son fonctionnement à basse température, couplé à son régulateur de température numérique et à son thermocouple, garantit que la couche de résine photosensible n'est pas endommagée au cours du processus. L'APS 1104 a une grande précision, ce qui est rendu possible en partie par son contrôleur pas à pas de haute précision et son transducteur piézoélectrique. Le modèle dispose également d'une interface utilisateur intuitive, ainsi que d'une variété d'outils de débogage, permettant aux utilisateurs de modéliser rapidement et facilement les processus de photorésistance. Dans l'ensemble, LEYBOLD APS 1104 est un excellent choix pour un équipement de photorésistance. Il est très précis et efficace, ce qui en fait un choix parfait pour le développement des processus de lithographie.
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