Occasion LEYBOLD CCS Pro #293770878 à vendre en France
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ID: 293770878
Style Vintage: 2007
AR Coating chamber
Thin film consumable
HPE6 E-Gun
MK1 Ion source
Turbo pump
Crystal head
Small footprint chamber
D65B Mechanical pump
Turbomolecular high vacuum pump
2007 vintage.
LEYBOLD CCS Pro est un équipement de photorésistance très avancé conçu pour le revêtement et le développement de substrats dans la fabrication de semi-conducteurs et d'autres applications de microélectronique. Ce système intègre une technologie de pointe pour fournir des performances précises et fiables dans la production de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité. Au cœur de l'unité CCS Pro se trouve son revêtement innovant et les processus de développement, qui sont cruciaux pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avec des motifs et des structures complexes. La machine dispose d'une gamme de composants avancés, y compris un enrobeur de spin, une plaque chaude, et un module de développement, qui travaillent ensemble sans faille pour assurer un revêtement uniforme et cohérent et des résultats de développement. Une des caractéristiques clés de l'outil LEYBOLD CCS Pro est son enrobeur de spin, qui est utilisé pour appliquer des matériaux photorésistants sur les substrats semi-conducteurs. Le spin coater dispose d'un moteur de haute précision qui permet un contrôle précis de la vitesse de rotation et de l'accélération, assurant que la résine photosensible est répartie uniformément sur la surface du substrat. Ce revêtement uniforme est essentiel pour réaliser des motifs et des structures à haute résolution dans les étapes ultérieures de lithographie. En plus du spin coater, CCS Pro actif comprend également une plaque chaude pour les processus de cuisson post-revêtement. La plaque chaude est utilisée pour chauffer les substrats enduits à une température spécifique, ce qui contribue à chasser les solvants et à améliorer l'adhésion de la résine photosensible au substrat. La plaque chaude du modèle LEYBOLD CCS Pro est équipée de capacités de régulation de température précises, garantissant que les substrats sont chauffés à la température exacte requise pour une performance optimale de la résine photosensible. Une fois les substrats enduits et cuits, ils sont transférés au module développeur pour le processus de développement. Le module développeur de l'équipement CCS Pro utilise une combinaison de solutions chimiques et d'agitation pour retirer sélectivement la résine photosensible non exposée du substrat, révélant le motif sous-jacent défini par le masque de lithographie. Le module développeur est conçu pour fournir un haut débit et des résultats de développement cohérents, permettant une production efficace de dispositifs semi-conducteurs avec des tolérances serrées et une haute résolution. Le système LEYBOLD CCS Pro est équipé de fonctions avancées d'automatisation et de contrôle pour rationaliser le revêtement et le développement des processus. L'unité comprend une interface conviviale qui permet aux opérateurs d'établir et de surveiller les paramètres du processus avec facilité, réduisant le risque d'erreur humaine et assurant des résultats reproductibles. En outre, la machine peut être intégrée avec des outils de métrologie externes pour la surveillance en ligne des processus, permettant un retour d'information en temps réel et un contrôle de la qualité. Dans l'ensemble, l'outil CCS Pro est un actif photorésist polyvalent et fiable qui est idéal pour la fabrication de semi-conducteurs et d'autres applications de microélectronique. Avec son revêtement avancé et ses processus de développement, ses capacités de contrôle précises et son interface conviviale, ce modèle offre des performances et une efficacité exceptionnelles pour la production de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité avec des exigences exigeantes de résolution de motifs et de précision dimensionnelle.
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