Occasion LEYBOLD HERAEUS Syrus 1105 #293819408 à vendre en France

ID: 293819408
Style Vintage: 2000
Vacuum coating machine Ignition counter: 31.220 hours INFICON XTC/2 Deposition controller LEYBOLD Pocket EB Gun, sweep controller (3) Bottom heaters Diffusion pump, water cooled baffle POLYCOLD PFC 661 Chiller (2) Sector plates sets Step up transformer Step down transformer SIEMENS PC/PLC controller Manuals Rotary pump, blower 2000 vintage.
LEYBOLD HERAEUS SYRUS 1105 est un équipement de photorésistance numérique conçu pour la micropatterning de petits composants tels que des puces semi-conductrices et des dispositifs optiques. Le système dispose d'une interface de contrôle avancée, permettant un contrôle précis des paramètres d'exposition afin de produire des motifs à haute résolution du détail le plus fin. L'unité comprend un étage de plaquette motorisé qui peut supporter jusqu'à 8 pouces de plaquettes avec jusqu'à 8 niveaux de sensibilité. L'étage est monté sur une plate-forme XYZ et peut être configuré pour faire tourner la plaquette enduite afin d'exposer la résine photosensible aux motifs désirés. Un écran tactile embarqué permet une saisie précise des paramètres et permet de régler les paramètres des axes X, Y et Z, le temps d'exposition, les paramètres d'énergie et les paramètres d'énergie UV. SYRUS 1105 utilise une machine d'imagerie avancée pour garantir des temps d'exposition précis et une précision de préhension. L'outil dispose d'une caméra CCD intégrée avec jusqu'à 5 mégapixels de résolution qui peut être utilisé pour le positionnement précis de la plaquette et l'imagerie des zones structurées. La caméra est montée sur un axe thêta automatisé, permettant un alignement angulaire précis de l'actif d'imagerie par rapport à la plaquette tournante. Le modèle comprend également un équipement d'alignement laser en option pour assurer un alignement précis des motifs sur la plaquette revêtue. Le système est très automatisé, avec le contrôle de l'étage de la plaquette, le temps d'exposition, les réglages d'énergie et les réglages d'énergie UV. Une unité sous vide intégrée maintient solidement la plaquette en place pendant le processus d'exposition et assure un contact de pression constant entre la plaquette et la résine photosensible. Enfin, la machine est équipée d'un outil de sécurité pour protéger le personnel et l'équipement. Cet actif est conçu pour bloquer le processus d'exposition lorsqu'une urgence soudaine est détectée. Dans l'ensemble, LEYBOLD HERAEUS SYRUS 1105 est un modèle de photorésist numérique avancé conçu pour la micropatterning de précision de petits composants. L'équipement assure un contrôle précis des paramètres d'exposition et du mouvement automatisé des plaquettes, permettant la production de motifs à haute résolution du détail le plus fin. De plus, des systèmes de sécurité sont en place pour protéger le personnel et l'équipement.
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