Occasion LEYBOLD OPTICS Syrus TC III #9394826 à vendre en France

LEYBOLD OPTICS Syrus TC III est un équipement de photorésistance de pointe utilisé dans la production de circuits intégrés de pointe. Le système travaille par projection optique d'un masque sur la plaquette pour produire une couche mince de résine photosensible. Cette couche est ensuite utilisée pour protéger la surface de la plaquette lors de traitements chimiques tels que la gravure. Syrus TC III est très précis, permettant des résolutions jusqu'à 0,25 µm. Il comporte une variable NA 0,5-0,7 substrats variables, ainsi qu'un cercle image 154 mm pour la projection de masques plus grands. L'unité est équipée d'un laser de 633 nm pour une exposition rapide, ainsi que d'un miroir dichromatique pour éliminer les aberrations de projection. L'éclairement vertical de 270 nm voit une intensité d'éclairement jusqu'à 3,8 mWatts/cm2. L'ensemble de la machine est conçu avec flexibilité et automatisation à son cœur. Par exemple, l'outil est compatible avec une grande variété de formes et d'épaisseurs de plaquettes, telles que circulaires, rectangulaires, voire carrées. Il dispose également d'un outil avancé de contrôle des processus, qui permet des recettes automatisées pour une répétabilité maximale et la cohérence des processus sur plusieurs couches. Il présente également une exposition chevauchante à plusieurs zones qui réduit le temps et le coût de chargement du masque. OPTIQUE LEYBOLD Syrus TC III est l'un des systèmes photorésistants les plus avancés disponibles. Il offre une vitesse de production et une précision accrues tout en améliorant la gestion des déchets et la rentabilité. Cela en fait le choix idéal pour le traitement en grand volume de matériaux photosensibles.