Occasion LEYBOLD Syrus 1510C #9395373 à vendre en France
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ID: 9395373
Style Vintage: 2007
AR Coating system
WAU 2001 H Rotary pump
SV630 Booster pump
POLYCOLD PFC-1102HC Chiller
Hydronium box: LEYBOLD TP 250
(2) EB-Guns with 8-pockets crucible
Ion source: APS Source with TP250 Controller
Crystal system: Q242 Board with 6-crystal head auto-change
POLYCOLD Cooling capacity: 860 W
POLYCOLD Cooling temperature: -130°C
Short circuit: 100 kA
Rated power: 110 kVA
Temperature: 35°C
HV Power supply: Output 10 kV
E-Beam gun: HPE12/10
Air relative humidity: Maximum 65%
Heating voltage: 400 VAC
Evaporator boat:
Tungsten
Tantalum
Niobium
Control system:
IPC Controller: BECKHOFF C5102-0010
HMI: BECKHOFF CP6902-0001-0000
Independent IDE display card
Non-functional UPS
Power supply: (3) 400 VAC±10%, 3-Phase, 50 Hz
2007 vintage.
LEYBOLD Syrus 1510C est un équipement de photorésistance pour des applications photolithographiques. Le système comprend une piste de résistance, une unité de post-développement et un développeur. Il fournit une plate-forme répétable et fiable pour le traitement des photorésistances. Syrus 1510C a un design simple et convivial, ce qui lui permet d'être rapidement configuré et exploité. L'unité a une conception double piste qui permet d'exécuter deux tâches de traitement distinctes en même temps. En outre, la machine dispose d'un microprocesseur qui peut être programmé pour aider à la répétabilité des recettes et minimiser le temps de configuration entre les utilisateurs. Les principaux composants de LEYBOLD Syrus 1510C sont la piste de résistance et l'unité de post-développement. La piste de résistance contient des parois intérieures et extérieures perforées qui créent un écoulement laminaire constant à travers l'outil. Ceci crée une diffusion uniforme du matériau photorésistant au cours du processus d'exposition. L'unité de post-développement intègre une source lumineuse, qui est utilisée pour créer un film photorésistant sur la plaquette. Syrus 1510C comprend également un développeur, qui est utilisé pour enlever le matériau photorésist exposé. Ceci permet de traiter les substrats avec les motifs souhaités. Le développeur est conçu pour être efficace et cohérent dans l'élimination de la couche de photorésist, tout en préservant la topographie définie du substrat. LEYBOLD Syrus 1510C est un actif de photolithographie très polyvalent et fiable. Il a une conception simple et conviviale combinée à une conception à double voie et des contrôles automatisés, permettant aux utilisateurs de traiter rapidement et efficacement les couches de résines photosensibles. En outre, il offre une excellente répétabilité qui minimise le temps d'installation entre les tâches. Ce modèle est idéal pour fournir des substrats prêts photorésist de qualité et uniformes qui sont nécessaires pour le traitement des dispositifs semi-conducteurs.
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