Occasion LUNG PIEN LP-1800 EBA #293642698 à vendre en France
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ID: 293642698
Vacuum coater
Diameter size: 1800 mm
Fixture size: 1600 mm
Ultimate vacuum: 10^-7 Torr / 10^-5 Pa
Maximum substrate temperature: 350°C
Cooling water flow: 180 Liters/min
Grounding resistance: <5 Ohms
Air compressor:
Pneumatic: 8 Kg/cm²
Exhaust system:
Rotary pump: 6,000 Liters /min
Strengthen pump: 2,600 M³/hour
(2) Diffusion pumps: 45,000 Liters/sec
Ultra low temperature freezers: -110°C~ -140°C
Heating system:
Micro heater: 42 kW
Film thickness gauge:
Optical film thickness meter: LP Film thickness meter wide
Quartz film thickness meter: Monolithic sensor head / six sensing head
Vacuum gauge:
Pirani+Cold cathode (1ATM~ 10^-9 Torr / 1ATM~ 10^-7 Pa)
Evaporation source:
JEOL / PLASMATECH Electron gun, 6 kW / 10 kW / 15 kW
Resistance heating: 6 kW
Cooling system:
Pressure: 4 Kg/cm²
Pressure: 2 Kg/cm²
Power supply: 110 kW.
LUNG PIEN LP-1800 EBA est un équipement de photorésistance de pointe construit pour une haute qualité et efficacité de production. Il s'agit d'une unité autonome qui se compose d'un processeur photorésistant évacuable, d'un moniteur de défectivité, de capteurs et d'une électronique d'acquisition de données. Le processeur LP-1800 fournit des paramètres de traitement cohérents tout en fournissant un contrôle de processus de haute précision. Le système de surveillance de la défectuosité est équipé d'un grand écran LCD couleur HD, permettant l'observation en temps réel des défauts pour faciliter la détection et l'analyse des défauts en ligne. L'unité utilise une technologie de décapage de résistance avancée pour les procédés pré-secs qui la rendent adaptée à une grande variété de matériaux photorésistes. Des fonctionnalités avancées telles qu'une machine de contrôle d'avance, des réglages de vitesse de processus élevés et une surveillance de la hauteur du laser et de l'épaisseur du film garantissent la plus haute qualité et la plus grande précision. LP-1800 L'ABE offre également une instrumentation complète comprenant la température, la force, la pression, le vide et la surveillance des particules, fournissant des données précises et fiables. En outre, LUNG PIEN LP-1800 EBA dispose également d'un contrôle de rétroaction intégré pour le traitement uniforme des lots et la capacité d'arrêt automatique des tests pour la résolution immédiate des problèmes. L'outil comporte également une intégration élevée de l'automatisation, permettant aux utilisateurs de programmer facilement leurs propres processus de résistance, ainsi que des contrôles tactiles conviviaux pour faciliter la programmation et l'optimisation des différentes étapes du processus. LP-1800 L'ABE est idéale pour soutenir les technologies de procédé avancées telles que l'ablation laser photorésist et la lithographie. Ses performances et ses caractéristiques avancées en font un excellent choix pour les installations de fabrication désireuses d'assurer des processus cohérents, ainsi qu'une production de haute qualité et à haut rendement.
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