Occasion MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-5M8K-NPS #293664056 à vendre en France

MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-5M8K-NPS
ID: 293664056
Plating system.
L'équipement de photorésistance MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-5M8K-NPS est une solution de pointe conçue pour des applications avancées de lithographie en silicium. Le système utilise une source de lumière ultraviolette profonde (DUV) pour fixer des plaquettes avec des caractéristiques très précises dans un environnement de salle blanche. Il combine un laser de grande puissance avec l'optique, les schémas mécaniques et l'électronique pour offrir une résolution, un débit et une fiabilité maximums. MP-5M8K-NPS est conçu avec une machine de projection anamorphique à aberration minimale qui permet une réduction importante de la surface d'exposition et assure une précision de placement. Il dispose d'une capacité de résolution de 0,11 microns avec un rapport de réduction de 5x pour délimiter avec précision les caractéristiques. L'outil a été amélioré grâce à la technologie des diodes laser de plus haute puissance pour permettre un débit optimal avec une répétabilité exceptionnelle et des performances à long terme. En outre, l'actif est équipé d'un contrôleur innovant pour le contrôle simultané multi-impulsions qui permet le déploiement d'expositions à fentes multiples (boîtes), ce qui le rend idéal pour la photolithographie dans une variété d'applications. Le modèle MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-5M8K-NPS est livré avec une unité de refroidissement des éléments optiques et de la diode laser ainsi qu'un étage multi-axes de haute précision pour assurer un alignement précis. L'équipement innovant de la cassette de plaquettes assure des temps d'exposition courts tout en améliorant la répétabilité. Le détecteur de fuites intégré et les moniteurs de pression assurent un contrôle précis de l'environnement de vide nécessaire à une lithographie de projection fiable. En plus de ses images d'excellente qualité, MP-5M8K-NPS système est conçu pour minimiser la formation de particules. Il est équipé d'un compteur de particules actif de premier ordre qui fournit une rétroaction en temps réel pour optimiser les niveaux de contamination de fond. L'unité comporte également une machine d'alimentation en gaz inerte qui permet l'introduction de différents gaz dans la chambre de contrôle des niveaux de contamination. MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-5M8K-NPS photoresist tool est conçu pour fournir aux OEM de l'industrie des semi-conducteurs une solution fiable et performante pour leurs besoins en lithographie. Ses excellentes performances, son large éventail de caractéristiques et ses capacités de tissage très précises en font le choix idéal pour toute application de lithographie.
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