Occasion MTI FLEXIFAB #16662 à vendre en France
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ID: 16662
with Coat Bake and Develop Stations
Robot load for up to 8" wafers
Includes spinner module and hot plate module.
MTI FLEXIFAB est un équipement de photorésistance développé par Molecular Track Imaging (MTI) pour des applications énergétiques directionnelles. FLEXIFAB utilise une technique de lithographie à base de polymère, qui fait intervenir une couche spécifique de photorésist à motifs dans laquelle les matériaux photorésistes réagissent différemment à l'exposition de la lumière UV selon diverses voies prédéterminées. En contrôlant le rapport image/substrat (rapport I/S) et d'autres paramètres, les motifs souhaités peuvent être obtenus sur des substrats complexes. MTI FLEXIFAB est un système fonctionnel avec une polyvalence lithographique inégalée. Il est capable de produire des résolutions comparables à celles des derniers systèmes Deep UV (DUV), mais sans avoir besoin de matériel DUV coûteux. L'unité est hautement programmable avec du matériel informatique intégré, des logiciels personnalisés, des fonctions de reconnaissance et de calibration des plaquettes, et un fonctionnement intuitif. La machine FLEXIFAB est conçue spécifiquement pour le fonctionnement à grande vitesse, permettant un retournement rapide des dispositifs microélectroniques. Il fournit des résultats optimaux pour les applications photorésistantes telles que l'écriture directe douce (SDW) et l'imagerie directe (DI). MTI FLEXIFAB a été utilisé avec succès dans la production de mémoires dynamiques à accès aléatoire (DRAM) et de circuits intégrés spécifiques aux applications (ASIC). FLEXIFAB offre une grande précision dans la lithographie. L'outil peut produire des images extrêmement fines avec une grande clarté et uniformité. La fonction de calibrage automatique et de reconnaissance des plaquettes combinée à l'utilisation de multiples photomasques et substrats permet une flexibilité et une précision en termes d'alignement parfait des structures. Les photorésistes utilisés dans cet actif ont une résolution extrêmement élevée, permettant des grossissements optiques allant jusqu'à 10,000X. Le modèle est particulièrement adapté à la production de masse de dispositifs microélectroniques. Il permet d'affiner les technologies existantes tout en offrant des moyens rentables de concevoir de nouvelles technologies. En outre, l'équipement est compatible avec de multiples substrats et photomasques. Cela permet aux fabricants de produire rapidement de grands volumes de produit avec une répétabilité et une précision élevées. En conclusion, le système MTI FLEXIFAB est une unité photorésist très efficace et techniquement avancée qui se manifeste par ses fonctionnalités, sa programmabilité et ses vitesses avancées. Il permet des images extrêmement fines et est compatible avec de multiples substrats et photomasques. Les caractéristiques intégrées, la reconnaissance des plaquettes et leur répétabilité le rendent idéal pour la production de masse de dispositifs microélectroniques d'une manière rentable.
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