Occasion MTI FLEXIFAB #83580 à vendre en France
URL copiée avec succès !
ID: 83580
Coater system, configuration:
Send-Rec/ Coat/ Bake/ Bake
275C stepper driven hot plate
Tritec resist pump
Side dispense for HMDS
Additional dispense such as backside EBR, backside wash, top side EBR or bowl wash are available
As-is condition.
MTI FLEXIFAB est un équipement de photorésistance qui simplifie la préparation et le traitement des plaquettes pour la fabrication des semi-conducteurs. Il est conçu pour accélérer la photolithographie et via les processus de gravure murale des architectures 3D avancées et l'intégration hétérogène. Le système peut être intégré dans n'importe quelle installation de fabrication standard, permettant la polyvalence et l'évolutivité. FLEXIFAB dispose d'une technologie brevetée, appelée « Smart Flex », qui automatise la résolution des problèmes de couture, de recouvrement et d'enregistrement des lignes. L'évolutivité de l'unité permet jusqu'à 8 pouces de substrats et dispose également d'options de parois latérales de 25mm avec une résolution fine jusqu'à 0,2 µm. La fonction Smart Flex assure un contrôle intégré des processus pour une bonne formation du film afin d'obtenir une épaisseur de film désirée de 1 µm à plus de 20 µm et est capable d'effectuer l'enregistrement des plaquettes sans registre. La photorésist offre un débit volumique élevé en intégrant les différentes étapes de photorésistance et de gravure dans un même équipement. Cela simplifie le processus, réduisant ainsi le coût de fabrication. L'outil est facile à utiliser, nécessite une intervention minimale de l'opérateur et offre une meilleure uniformité et performance de rendement. La surveillance et le contrôle du processus en temps réel permettent une gestion efficace du processus, ce qui augmente le débit et améliore les rendements. MTI FLEXIFAB supporte un certain nombre de matériaux, allant du silicium au GaAs, et divers procédés tels que la gravure, le nettoyage humide et sec, le strippage et la formation de nanostructures. Il est équipé d'un modèle d'inspection optique avancé qui fournit une production et un examen de processus puissants, maximisant les rendements et réduisant les heures de travail précieuses. L'équipement traite les photorésistances sur la puce, couche par couche, et élimine virtuellement les gravures Litho manuelles pour la fabrication d'appareils électroniques. Il est conçu pour le prototypage rapide de l'électronique, permettant des cycles de développement plus courts, un meilleur contrôle des coûts et une meilleure performance des produits. Ce système photorésist permet d'augmenter le rendement et de réduire le temps de cycle de production, améliorant encore le rapport coût-efficacité.
Il n'y a pas encore de critiques