Occasion MTI FLEXIFAB #97296 à vendre en France

MTI FLEXIFAB
Fabricant
MTI
Modèle
FLEXIFAB
ID: 97296
Developer system, configuration: Send-Rec/ Develop/ Bake/ Bake 275C stepper driven hot plates Puddle or fan spray develop dispense Side dispense for DI water Additional dispense such as backside EBR, backside wash, top side EBR or bowl wash are available.
MTI FLEXIFAB est un équipement de photorésistance développé par Material and Testing Instruments (MTI) pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs complexes. Le système offre un haut degré de flexibilité, permettant la création d'un large éventail de structures, y compris des vias aveugles, une couverture de pas et des profils de surface. L'unité se compose de deux composants principaux - une machine de dépôt de résines photosensibles et un générateur de motifs. L'outil de dépôt de photorésist est conçu pour déposer uniformément une couche de photorésist à travers un substrat. Il utilise un spinner de résistance automatisé de haute capacité pour contrôler avec précision le processus d'application de résistance. La filière est capable de déposer la résine à différentes vitesses et est très répétable, ce qui permet d'obtenir des résultats cohérents entre différents substrats. Le deuxième composant est un générateur de motifs. Ce dispositif est utilisé pour imprimer un motif sur la résine photosensible déposée, qui sert de guide pour le procédé de gravure. Le motif peut être programmé dans l'actif pour contrôler précisément la taille et la forme des structures créées. Le dispositif comprend également une caméra qui peut être utilisée pour identifier les défauts du motif, ce qui permet d'effectuer les ajustements nécessaires. La combinaison de ces deux composants offre un certain nombre d'avantages par rapport aux procédés traditionnels de photolithographie. L'un de ces avantages est la capacité du modèle à créer des structures tridimensionnelles complexes qui sont impossibles avec les techniques traditionnelles de lithographie. En outre, le contrôle très précis sur l'application de résistance et les processus de mise à nu se traduit par une meilleure résolution de ligne, ainsi qu'une plus grande répétabilité du processus. Dans l'ensemble, FLEXIFAB est un équipement très efficace pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs complexes. Son contrôle précis et ses caractéristiques flexibles permettent de créer des conceptions très complexes avec une meilleure résolution de ligne, rendement et répétabilité. En tant que tel, c'est un choix idéal pour les procédés modernes de production de semi-conducteurs.
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