Occasion MTS Marangoni #9165831 à vendre en France
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ID: 9165831
Style Vintage: 2012
Dryer
N2 Flow -SCFH (SLPM):
Heated N2, High flow
Min: 636 (300)
Max: 1059 (500)
Typical: 850 (400)
Heated N2, Low flow
Min: 50 (23.5)
Max: 75 (35.4)
Typical: 60 (28.3)
IPA Bubbler
Min: 30 (14.1)
Max: 60 (28.3)
Typical: 50 (23.5)
IPA Purge
Min: 30 (14.1)
Max: 60 (28.3)
Typical: 50 (23.5)
Static purge
Min: 30 (14.1)
Max: 60 (28.3)
Typical: 50 (23.5)
Chassis purge
Min: 10 (4.7)
Max: 20 (9.4)
Typical: <15 (7.1)
N2 Temperature:
Heater core: Ambient to 200°C
Heater over-temp:
External surface (Snap switch): 162°C
Heater core: 250°C
Gas temp:
Programmable
Ambient to 160°C
130°C typical
DI Water flow:
During process: 10-15 GPM (38-57 LPM)
Idle (Trickle flow): 1.5 GPH (.09 LPM)
Process capacity (Wafers per run):
Dual tanks: (50) 6" wafers-two cassettes of 25 wafers
Single tank: (25) 12" Wafers
Down and move out time: 6 Hours
Currently installed
2012 vintage.
MTS Marangoni est un équipement photorésist de pointe conçu pour garantir un haut degré de précision et d'efficacité pour les procédés de fabrication nécessitant un revêtement photorésist. Le système utilise un procédé breveté de revêtement liquide ultra-précis, qui permet d'appliquer la résine photosensible de manière efficace et fiable sur des substrats avec un minimum de déchets et de pertes. Cette unité photorésist offre aux utilisateurs toute une gamme d'options de personnalisation, leur permettant d'adapter le revêtement à leurs besoins spécifiques, d'où des films photorésist avec des propriétés mécaniques supérieures et une grande clarté optique. La photorésist Marangoni est une solution de polymère sensible aux UV qui est distribuée à l'aide d'une machine robotique spécialement conçue. Ce revêtement est appliqué à la plupart des matériaux avec une grande précision et répétabilité, ce qui permet à l'utilisateur de produire de grandes pièces de haute précision avec des déchets minimisés. L'outil MTS Marangoni offre également une gamme de contrôle d'épaisseur pour aider à gérer l'épaisseur du film pour des propriétés optiques optimales. La résine photosensible est distribuée à l'aide d'une série de buses de précision qui pulvérisent la solution en minuscules gouttelettes, assurant une couverture uniforme et des performances maximales. Ce procédé de dépôt de gouttelettes assure une application uniforme de la résine photosensible sur la surface du substrat sans vide ni non conformités. Marangoni actif offre également un certain nombre d'ajustements de flexibilité, y compris la capacité de contrôler le nombre de couches et la largeur de la piste. Cela garantit que les utilisateurs peuvent appliquer plusieurs couches de résines photosensibles avec précision et cohérence. Le modèle photorésist MTS Marangoni est conçu pour rendre les procédés de revêtement photorésist plus faciles et plus efficaces. En éliminant le temps perdu et le produit, l'équipement Marangoni permet aux utilisateurs de produire des films photorésistants supérieurs avec un minimum d'effort et de coût. Avec son design simple et robuste, le système photorésist MTS Marangoni fournit à ses utilisateurs précision, fiabilité et un flux de travail efficace.
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