Occasion NEXX SYSTEMS Stratus 300 #9289374 à vendre en France
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NEXX SYSTEMS Stratus 300 est un équipement de photorésistance utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il est spécifiquement conçu pour graver des motifs de haute qualité sur des plaquettes avec une capacité de fixation haute résolution jusqu'à 1µm/largeur de ligne. Stratus 300 offre une technologie de photorésistance de pointe avec une source UV multifaisceaux de pointe capable de produire jusqu'à 3J/cm2 d'énergie d'exposition avec une longueur d'onde de 365nm. Il comprend également un système optimisé d'optimisation de la longueur d'onde avec un rapport de contraste élevé et une faible réflexion pour une meilleure précision de gravure. NEXX SYSTEMS Stratus 300 dispose d'une unité d'alignement entièrement automatisée avec une machine de métrologie intégrée pour mesurer les caractéristiques critiques et peut manipuler des plaquettes jusqu'à 8 pouces de diamètre. L'outil utilise un mécanisme d'échange dynamique pour les échanges de plaquettes et le chargement et le déchargement rapides. En plus de ses capacités de gravure haute résolution, Stratus 300 propose des systèmes de traitement et de contrôle de données utilisant des logiciels informatiques avancés pour suivre, contrôler et signaler toutes les recettes de gravures photorésistantes pertinentes. Cela permet des opérations de gravure plus rapides et plus précises avec la capacité de surveiller et d'enregistrer les résultats pour le contrôle de la qualité et le suivi détaillé des erreurs. NEXX SYSTEMS Stratus 300 comprend également une fonction auto-focus unique avec une taille maximale du réticule de 75mm qui lui permet de graver avec une grande précision jusqu'au niveau du nanomètre. De plus, un atout d'auto-nivellement assure l'uniformité de la gravure tout au long de la plaquette en contrôlant les paramètres du processus tels que l'inclinaison du masque, la focalisation, la résistance à l'épaisseur et à l'exposition. Dans l'ensemble, Stratus 300 est un modèle de résistance photosensible avancé et fiable avec une multitude de fonctionnalités et de capacités. Avec sa précision de gravure haute résolution et sa capacité à contrôler avec précision le processus de gravure, NEXX SYSTEMS Stratus 300 est une solution idéale pour la fabrication de semi-conducteurs.
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