Occasion NOVELLUS / LAM Saber XT #9224442 à vendre en France
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ID: 9224442
Taille de la plaquette: 8"
Cu Plating system, 8"
System controller
Module controller
Cassette handler controller
Main system:
Wafer cassette: 25 wafer
Mini-environment: SYNETICS
Chase computer / monitor: Desktop PC/CRT
Exhaust kit: TOP Mount
Drain kit: Backside
Cassette handler module:
Load port: Static nests, (4) stations
Wafer aligner type: Mechanical center finder
Robot type: AQR7 BROOKS
End effector: SST x/ Vacuum port
Mapping type: Thru-beam
Wafer release: With puff
Plating cell configuration:
Cell 1, cell 2 and cell 3:
Clamshell type: Standard
Clamshell cup type: PPS
Clamshell cylinder: Pressure-vacuum cylinder
ANODE Type: Standard
(2) TI Cables
SAC
Clamshell lift: IAI
ACR
Active top hat
Plating power supply: AE Pulse power supply
Post plating cell configuration:
Cell 1, cell 2 and cell 3:
Chuck type: PPS
Wafer present sensor mount: Standard
EBR
Bath module:
Totalizer #1 & #2 manufacture: FLORITE
Dosing pump 1,2 &3: MS1602-024
Recirculation pump: IWAKI WALCHEM CMD-101
CDM Level sensor type: KEYENCE
Heat exchanger: NESLAB HX-75
Auxiliary equipment:
Chemical monitoring system (CMS): ECI QLC-7000
Chemical delivery system (CDS): OEM
Mini delivery system (MDS): OEM
DI Water delivery system: OEM
Input voltage: 208 VAC, 50/60 Hz, 100 A.
NOVELLUS/LAM Saber XT est un équipement de photorésistance conçu pour une utilisation dans une variété d'applications industrielles exigeantes. Le système utilise un processus breveté, à usage unique et en une seule étape pour fournir une imagerie de précision conviviale et rentable. La technologie de photorésistance de pointe de l'unité est unique en son genre et est conçue pour fournir un débit élevé et une précision inégalée en matière d'imagerie. Il est extrêmement adaptable et peut être rapidement mis en place pour différents travaux, tout en fonctionnant à un niveau de performance optimal. La technologie garantit également les plus hauts niveaux de résolution, de précision et de répétabilité dans l'imagerie photorésistante. LAM Saber XT est équipé d'une machine d'imagerie optique haute puissance spécialisée, qui utilise une approche laser avancée. L'approche laser de signature est ce qui permet à l'outil de maintenir des niveaux incroyablement élevés de précision. Cet atout est également conçu pour faciliter les fonctions d'amélioration de la productivité telles qu'un modèle intuitif et programmable d'enregistrement des données, ainsi que la surveillance des performances en temps réel pour le contrôle de supervision. Le matériel de l'équipement est soutenu par une suite logicielle intuitive, conçue pour offrir aux utilisateurs le maximum de flexibilité et de facilité d'utilisation. Chargé de fonctions programmables, le logiciel peut être facilement adapté aux besoins d'une tâche particulière. C'est le choix parfait pour les utilisateurs qui exigent un système d'imagerie photorésist simple et fiable. Enfin, NOVELLUS Saber XT est conçu avec une grande durabilité et une capacité flexible. Ses composants lourds sont logés dans une unité fermée pour maximiser la longévité et minimiser l'entretien potentiel. En outre, Saber XT peut être utilisé en toute sécurité dans diverses conditions environnementales, y compris les températures extrêmes et le rayonnement, ce qui le rend idéal pour une large gamme d'applications industrielles. En conclusion, NOVELLUS/LAM Saber XT est une machine photorésiste leader dans l'industrie, spécialement conçue pour fournir une imagerie de précision pour une variété de tâches industrielles exigeantes. Son outil d'imagerie laser avancé, son logiciel intuitif et sa construction durable en font le choix idéal pour tous ceux qui recherchent des performances fiables et fiables.
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