Occasion NOVELLUS / LAM Saber XT #9224442 à vendre en France

ID: 9224442
Taille de la plaquette: 8"
Cu Plating system, 8" System controller Module controller Cassette handler controller Main system: Wafer cassette: 25 wafer Mini-environment: SYNETICS Chase computer / monitor: Desktop PC/CRT Exhaust kit: TOP Mount Drain kit: Backside Cassette handler module: Load port: Static nests, (4) stations Wafer aligner type: Mechanical center finder Robot type: AQR7 BROOKS End effector: SST x/ Vacuum port Mapping type: Thru-beam Wafer release: With puff Plating cell configuration: Cell 1, cell 2 and cell 3: Clamshell type: Standard Clamshell cup type: PPS Clamshell cylinder: Pressure-vacuum cylinder ANODE Type: Standard (2) TI Cables SAC Clamshell lift: IAI ACR Active top hat Plating power supply: AE Pulse power supply Post plating cell configuration: Cell 1, cell 2 and cell 3: Chuck type: PPS Wafer present sensor mount: Standard EBR Bath module: Totalizer #1 & #2 manufacture: FLORITE Dosing pump 1,2 &3: MS1602-024 Recirculation pump: IWAKI WALCHEM CMD-101 CDM Level sensor type: KEYENCE Heat exchanger: NESLAB HX-75 Auxiliary equipment: Chemical monitoring system (CMS): ECI QLC-7000 Chemical delivery system (CDS): OEM Mini delivery system (MDS): OEM DI Water delivery system: OEM Input voltage: 208 VAC, 50/60 Hz, 100 A.
NOVELLUS/LAM Saber XT est un équipement de photorésistance conçu pour une utilisation dans une variété d'applications industrielles exigeantes. Le système utilise un processus breveté, à usage unique et en une seule étape pour fournir une imagerie de précision conviviale et rentable. La technologie de photorésistance de pointe de l'unité est unique en son genre et est conçue pour fournir un débit élevé et une précision inégalée en matière d'imagerie. Il est extrêmement adaptable et peut être rapidement mis en place pour différents travaux, tout en fonctionnant à un niveau de performance optimal. La technologie garantit également les plus hauts niveaux de résolution, de précision et de répétabilité dans l'imagerie photorésistante. LAM Saber XT est équipé d'une machine d'imagerie optique haute puissance spécialisée, qui utilise une approche laser avancée. L'approche laser de signature est ce qui permet à l'outil de maintenir des niveaux incroyablement élevés de précision. Cet atout est également conçu pour faciliter les fonctions d'amélioration de la productivité telles qu'un modèle intuitif et programmable d'enregistrement des données, ainsi que la surveillance des performances en temps réel pour le contrôle de supervision. Le matériel de l'équipement est soutenu par une suite logicielle intuitive, conçue pour offrir aux utilisateurs le maximum de flexibilité et de facilité d'utilisation. Chargé de fonctions programmables, le logiciel peut être facilement adapté aux besoins d'une tâche particulière. C'est le choix parfait pour les utilisateurs qui exigent un système d'imagerie photorésist simple et fiable. Enfin, NOVELLUS Saber XT est conçu avec une grande durabilité et une capacité flexible. Ses composants lourds sont logés dans une unité fermée pour maximiser la longévité et minimiser l'entretien potentiel. En outre, Saber XT peut être utilisé en toute sécurité dans diverses conditions environnementales, y compris les températures extrêmes et le rayonnement, ce qui le rend idéal pour une large gamme d'applications industrielles. En conclusion, NOVELLUS/LAM Saber XT est une machine photorésiste leader dans l'industrie, spécialement conçue pour fournir une imagerie de précision pour une variété de tâches industrielles exigeantes. Son outil d'imagerie laser avancé, son logiciel intuitif et sa construction durable en font le choix idéal pour tous ceux qui recherchent des performances fiables et fiables.
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