Occasion OPTORUN OTFC-1300 #9190582 à vendre en France
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Vendu
ID: 9190582
Style Vintage: 2005
IAD Optical thin film coaters
High resolution optical monitor:
HOM1-1
OPTORUN OTM
Wavelength range: 1100nm - 1700nm
Wavelength resolution: 00.8nm
Light value resolution: 0.001%
Light source: Halogen lamp
Power requirements: AC100V ± 10% 50/50Hz
Power consumption: 600VA
Light sensitivity: ± 0.01 (Narrow band pass filter)
Optical system and low noise: ± 0.01%
Shutters:
(2) EB
ION
EB Sources:
L Loop hearth changed to hearth liner
R 24 Points hearth
(2) Plasma tech EB source 270° deflection systems
(2) Monitoring cameras for hearth
Pumping systems:
Qty / Make / Model / Description
(1) / EDWARDS / E2M275+MBP EH1200 X / Mechanical pump
(2) / SHIBAURA / - / Diffusion pumps, 22”
Cold traps:
Make / Model / Description
POLYCOLD / PFC660 / Meissner trap coil
AISIN / - / Super trap cold baffle plate on the DP
Substrate fixture:
Variable speed dome
Hand lifter for mounting substrates
OPTORUN OIS RF Ion source system 170mm diameter
Thickness monitor: INFICON IC5
Vacuum gauge: INFICON VGC023
Process gasses controller: INFICON VCC500
(2) E-Guns
Control:
PC
PLC
Spare shield plates
2005 vintage.
L'équipement photorésist OPTORUN OTFC-1300 offre aux utilisateurs un moyen fiable et efficace de traiter les films et les plaquettes. Grâce à ce système de photorésist, le matériau du substrat peut être exposé à un motif spécifique déterminé par une unité de conception assistée par ordinateur (CAO). Cette machine promet d'être un outil idéal pour la précision et la précision en lithographie microélectronique. OPTORUN 1300 utilise spécifiquement la photolithographie pour créer un motif désiré sur le matériau du substrat. La photolithographie fait intervenir un matériau exposé à la lumière qui modifie les propriétés du matériau d'une manière ou d'une autre. L'outil de projection photorésist OTFC 1300 optimise ce processus en utilisant une chambre à vide avec un étage de masque et un atout d'éclairage. L'étage de masque est l'endroit où est placé le photomasque conçu par CAO, et le modèle d'éclairage est constitué d'une source lumineuse avec un équipement de lentille de sortie. Le système de lentilles de sortie de lumière modifie le faisceau de lumière provenant de la source lumineuse, et le motif de la photomasque influence la façon dont la lumière affecte le matériau du substrat. OPTORUN OTFC 1300 a plusieurs fonctionnalités avancées. Il est équipé d'une unité de vide qui peut s'ajuster rapidement aux changements dans l'environnement, protégeant contre les effets nocifs potentiels des changements rapides de pression. La machine utilise également un outil de refroidissement pour éviter la surchauffe de la source lumineuse et assurer des performances cohérentes et précises. 1300 possède une caractéristique de gain à haute concentration, permettant d'augmenter les densités de faisceaux optiques avec une perte minimale. Enfin, cet actif photorésist offre une technologie d'auto-alignement, garantissant que chaque couche est toujours correctement alignée. Dans l'ensemble, OTFC-1300 modèle photorésist est un outil puissant pour créer des motifs complexes et précis sur les matériaux de substrat. Il est optimisé pour la précision, l'efficacité et la fiabilité, et il est bien adapté pour ceux qui cherchent à accomplir une variété de tâches dans l'industrie de la lithographie microélectronique.
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