Occasion OPTORUN OTFC-1300 #9215115 à vendre en France
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Vendu
ID: 9215115
Style Vintage: 2006
Optical thin film coater
Control: PLC
PC
SUS304 Vacuum chamber
Substrate dome size: D1130 mm
Pumping system:
Mechanical pump 4,000L /min + Mechanical booster pump
(2) Diffusion pumps, 22”
INFICON VGC023 Vacuum gage
Cold trap: POLYCOLD PFC670HC for meissner trap coil
EB Sources:
L: Loop hearth
R: 24-Points hearth
JEOL EB Source 180° deflection system
(2) JEBG-1C2UCHC
Power supply:
JEOL EB Source: JST-10F
Shutters:
(2) EB Sources
Ion source
Ion source:
OPTORUN OIS ONE RF Ion source system: 170 mm Diameter
Substrate fixture:
Variable speed dome: 10~50 RPM
Optical film thickness control system:
OPTORUN HOM2-R-VIS350A
Wavelength range: 350 nm to 1100 nm
Reflection
Crystal film thickness monitor:
INFICON XTC-2
6-Points rotary crystal sensor
Process gasses controller:
Controller: INFICON VCC500
Control valve: INFICON VDM005-X
2006 vintage.
OPTORUN OTFC-1300 est un équipement de photorésistance conçu pour une production rentable et de haute précision de photorésist et d'autres matériaux de couche mince. Ce système offre une variété d'options de configuration permettant aux utilisateurs d'adapter l'appareil à leurs besoins individuels. Il dispose d'un design avancé de tête de revêtement qui est capable de fournir un revêtement de couche mince uniforme sur tout substrat avec une excellente précision et répétabilité. L'OPTORUN 1300 comprend une pompe à vide à pression intégrée, qui assure un processus de revêtement bien contrôlé et minimise également l'évaporation du matériau photorésist. Cette machine dispose également de chauffages à deux étages pour un chauffage et un refroidissement efficaces des matériaux. L'outil dispose d'un minuteur intégré qui permet un contrôle précis du temps d'application, permettant aux utilisateurs d'ajuster facilement l'épaisseur du revêtement. Le processus photorésist sur OTFC 1300 est entièrement automatisé, offrant aux utilisateurs un processus de production fiable et reproductible. L'actif dispose également d'un certain nombre de dispositifs de sécurité intégrés, y compris une protection contre les surintensités et un modèle d'arrêt d'urgence. De plus, un équipement de vision sophistiqué permet aux utilisateurs d'inspecter la couche de résine photosensible finie avant la cuisson. 1300 utilise un système avancé de robotique en ligne, permettant une plus grande flexibilité et des délais d'exécution plus rapides. Cette unité dispose également d'une interface tactile avancée, permettant aux utilisateurs de sélectionner rapidement des paramètres tels que la vitesse, la pression et la vitesse de livraison du matériau. En outre, cette machine dispose d'une connexion en réseau, permettant la télécommande et la surveillance du processus photorésist à partir d'un ordinateur ou d'un appareil intelligent. OTFC-1300 est conçu pour être fiable et facile à utiliser, ce qui en fait une solution idéale pour la production en masse de matériaux photorésistants. Le processus automatisé et les fonctions de sécurité programmables de l'outil sont conçus pour assurer la cohérence et la précision du produit. Cet atout est également bien adapté aux applications de prototypage et de production à faible volume, en raison de son contrôle précis, de sa configuration rapide et de ses exigences de maintenance facile.
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