Occasion OPTORUN OTFC-1300CGI #9408415 à vendre en France

OPTORUN OTFC-1300CGI est un équipement de photorésistance conçu pour fournir des procédés de revêtement de photorésist de haute résolution et fiables de manière rentable. Il offre une variété de modes de revêtement, permettant aux utilisateurs de revêtir rapidement et facilement les substrats avec une grande uniformité et précision. Le système supporte également une large gamme de matériaux photorésistants, permettant aux utilisateurs de trouver la photorésist appropriée pour leur application. L'unité est composée d'une tête de balayage laser et d'un réseau de lentilles et de miroirs, tous deux gérés par une machine de balayage à galvo réglable. Cela réduit considérablement le coût, l'espace et la consommation d'énergie, tout en offrant la même précision et précision. L'outil permet également un revêtement continu très uniforme sur une grande surface et est capable de rouler à des vitesses allant jusqu'à 5 m/s. L'actif utilise un procédé de revêtement à trois niveaux de résistance, avec une résistance directe à la surface de la plaquette. En utilisant un processus de résistance à trois niveaux, il assure l'uniformité, la précision et la répétabilité pour le balisage complexe. Le modèle se compose d'un galvanomètre, d'un laser, d'un illuminateur et d'un équipement d'imagerie. Le galvanomètre déplace l'illuminateur et le laser selon un motif spécifique sur la surface de la plaquette afin de générer les motifs désirés. Le laser refroidi à l'eau est un laser solide pompé par diode de grande puissance. Il contient un système de contrôle de puissance automatisé qui ajuste automatiquement la puissance laser et la durée d'impulsion pour obtenir un réglage optimal. L'unité est équipée d'un réseau de microlentilles de haute qualité qui réduit la distorsion à l'intérieur et à l'extérieur du plan du substrat. Ce réseau de microlentilles permet également d'atteindre l'uniformité sur une grande surface. Enfin, OTFC-1300CGI est conçu avec une mécanique de haute précision et une optique de précision pour fournir une uniformité et une précision de film supérieure. Basé sur le processus de revêtement, un contrôleur de mouvement optionnel est disponible pour améliorer encore sa précision. La machine est capable d'obtenir une grande précision et répétabilité dans les uniformités de film et peut modeler des masques complexes et de grande taille.