Occasion SATISLOH DS 160 #293830377 à vendre en France

Fabricant
SATISLOH
Modèle
DS 160
ID: 293830377
Hard coater.
SATISLOH DS 160 est un équipement de photorésistance de pointe utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour la mise en oeuvre précise de circuits intégrés et autres dispositifs microélectroniques. Ce système se compose d'une série de composants conçus pour permettre une lithographie haute résolution, cruciale pour atteindre des largeurs de lignes fines et des densités de dispositifs élevées dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Au cœur de l'unité DS 160 se trouve le matériau photorésistant lui-même, un polymère sensible à la lumière qui subit des modifications chimiques et physiques lorsqu'il est exposé à la lumière ultraviolette (UV). La résine photosensible contient des composés photosensibles qui génèrent de l'acide ou d'autres espèces réactives lors de l'exposition à la lumière, initiant une série de réactions qui déterminent finalement le motif transféré sur le substrat. La résine photosensible SATISLOH DS 160 est formulée pour offrir d'excellentes propriétés de résolution, de sensibilité et d'adhérence, permettant de délimiter avec précision les caractéristiques de la plaquette semi-conductrice. Le procédé de lithographie dans la machine DS 160 commence par l'application de la résine photosensible sur le substrat, typiquement une plaquette de silicium. Ceci peut se faire à l'aide d'un enrobage de spin, dans lequel la plaquette est mise en rotation à des vitesses élevées pour obtenir un enrobage uniforme de résine photosensible. La plaquette enrobée est ensuite cuite molle pour chasser tout solvant et améliorer l'adhérence de la résine photosensible sur le substrat. Ensuite, la plaquette est exposée à la lumière UV à travers un masque qui contient les motifs de circuit désirés. La lumière UV traverse les régions transparentes du masque, exposant des zones correspondantes de la résine photosensible sur la plaquette. L'exposition active les composés photoactifs dans la résine, conduisant à un changement chimique dans les régions exposées. Après exposition, la plaquette subit un processus de cuisson post-exposition (PEB) afin d'améliorer encore la réactivité de la résine photosensible et de stabiliser les régions exposées. Cette étape est critique pour contrôler la forme et les dimensions du motif transféré sur le substrat. Le motif est ensuite développé en immergeant la plaquette dans une solution de révélateur qui dissout sélectivement soit les zones exposées, soit les zones non exposées de la résine photosensible, selon le type de résine utilisé. Cette étape révèle les caractéristiques structurées sur le substrat, qui peuvent ensuite être transférées dans les couches sous-jacentes par des procédés tels que la gravure ou le dépôt. L'outil SATISLOH DS 160 offre plusieurs avantages aux fabricants de semi-conducteurs. Ses capacités de haute résolution permettent la fabrication de circuits complexes et denses, indispensables à la production d'appareils électroniques de pointe. La sensibilité de l'actif permet de raccourcir les temps d'exposition, ce qui accroît le débit et l'efficacité des processus de fabrication. De plus, le modèle photorésist DS 160 offre d'excellentes propriétés d'adhérence, assurant une bonne fidélité au motif et une uniformité à travers la plaquette. Il en résulte une amélioration des performances et de la fiabilité du dispositif, ainsi qu'une réduction des défauts et des pertes de rendement lors de la production. En conclusion, SATISLOH DS 160 est un équipement de photorésistance de pointe qui joue un rôle crucial dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Avec ses formulations avancées, ses capacités de lithographie précises et ses performances supérieures, ce système permet aux fabricants de semi-conducteurs d'atteindre des niveaux élevés de précision et de productivité dans leurs processus de fabrication, contribuant ainsi au développement de produits électroniques de pointe.
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