Occasion SCS FA-812-1060-1 #9157134 à vendre en France
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SCS FA-812-1060-1 est un équipement de photorésistance conçu pour fournir des capacités de lithographie avancées pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. C'est un système fiable et facile à utiliser qui peut être intégré dans un environnement de production. L'unité dispose d'une source laser haute puissance KrF excimer, et d'un étage de balayage descendant qui supporte les tailles de plaquettes jusqu'à 200mm. La lumière laser est divisée en deux faisceaux qui sont ensuite séparés par une distance définie et dirigés à travers une lentille de condenseur et une ouverture de trou de pinceau pour créer le motif désiré dans le matériau photorésistant. La photomasque est montée sur un étage de masque motorisé qui est coordonné avec l'étage de balayage pour permettre un alignement souple et précis. FA-812-1060-1 dispose d'une optimisation automatique des paramètres, garantissant que les paramètres du processus sont modifiés au besoin, en fonction des performances observées. L'uniformité de la résine photosensible exposée à travers la plaquette est optimisée grâce à l'utilisation de la puissance laser programmable individuellement et de la vitesse d'obturation. En outre, la machine utilise un outil de surveillance haut de gamme avec rétroaction en temps réel pour fournir un contrôle et une vérification avancés des processus. Plusieurs dispositifs de sécurité intégrés sont également inclus tels qu'un bouclier entre les positions de chargement laser et wafer, et une porte d'obturation à verrouillage électronique. La porte d'obturation est équipée d'un verrouillage qui empêche toute exposition si la porte est ouverte. Un bouton d'arrêt d'urgence est également prévu pour l'arrêt rapide en cas d'urgence. SCS FA-812-1060-1 est un actif photorésist extrêmement efficace et fiable qui fournit des résultats de lithographie de haute qualité avec un contrôle optimal des processus. Avec ses fonctionnalités avancées et son optimisation automatisée des paramètres, le modèle permet la production de plaquettes semi-conductrices de classe mondiale avec un minimum d'effort. En offrant un fonctionnement sûr, de la flexibilité et des résultats fiables, FA-812-1060-1 est la solution parfaite pour tout environnement de production.
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