Occasion SEMES EKPS-01 #9259252 à vendre en France

SEMES EKPS-01 est un équipement de haute technologie conçu pour une large gamme d'applications lithographiques. Le système comprend un certain nombre de composants qui travaillent en tandem pour fournir une excellente performance et précision. EKPS-01 comprend une table à vide (VBT) avec une machine de commande de hauteur en boucle fermée qui assure un alignement précis et précis pendant le traitement. Le VBT est piloté par un outil de contrôle à deux axes linéaires pour permettre des mouvements x-y-z, ce qui facilite l'alignement des substrats et augmente la précision de traitement. La station de distribution de photorésist offre une distribution automatisée de la solution de photorésist, avec la capacité de réaliser un revêtement mince et uniforme sur des substrats de tailles et de géométries variables. Le poste de travail exposé au faisceau électronique est capable de créer des motifs sur de grandes surfaces avec des vitesses d'exposition rapides et des résultats de haute qualité. Une station de gravure isotrope directe est utilisée pour le traitement chimique des échantillons par gravure sèche, et fournit des paramètres de processus flexibles pour les besoins avancés de fabrication. Enfin, une station de solvants chimiques élimine les résidus indésirables et prépare les échantillons pour d'autres opérations. SEMES EKPS-01 est un choix idéal pour une lithographie de haute précision, offrant une précision et une efficacité maximales.