Occasion SEMITOOL 270 #77035 à vendre en France
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SEMITOOL 270 est un système de photorésist utilisé dans la production de dispositifs semi-conducteurs. C'est un système dédié qui utilise plusieurs modules de processus pour fournir une photolithographie de précision. Il comprend un aligneur de masque, un applicateur, une station de développement et une station de décapage de résines. Le module d'alignement du masque permet de contrôler les relations entre le masque et la plaquette et d'assurer un enregistrement précis des motifs. Il utilise un ensemble optique pour projeter un motif d'image sur un substrat revêtu de photorésist, ce qui conduit à un motif qui correspond exactement à la conception. En outre, l'alignement de masque offre une capacité pas à pas et répétition, permettant de placer plusieurs motifs de formes et de tailles différentes sur un seul substrat. L'applicateur de photorésist est utilisé pour délivrer le matériau de photorésist sur la surface du substrat en couche uniforme. Il dispose d'un contrôle automatisé pour une épaisseur de film uniforme, un débit amélioré et une interférence optique réduite. Cet applicateur peut également être utilisé pour appliquer plusieurs couches de photorésist ou pour annoncer des couches de motifs d'épaisseurs de film différentes. 270 comprend une station de développement qui peut être utilisée pour enlever la résine photosensible des zones non exposées. Sa buse haute résolution est capable de fournir un motif de gravure chimique précis et dirigé qui peut réduire le temps pris par le processus de photolithographie. Il dispose d'une pompe numérique pour le traitement à grande vitesse et d'un contrôle de pression numérique pour une livraison de liquide précise. La résine photosensible développée peut alors être gravée sur la surface pour former le motif désiré. Enfin, la station de dénudage de résines est utilisée pour retirer la photorésist non exposée du substrat. Il est efficace pour assurer l'élimination sans résidus des photorésistes à tonalité négative avec des résultats reproductibles. Il station de nettoyage des plaquettes surveillées par faisceau d'électrons assure que toute la résine photosensible est effectivement éliminée de la surface. SEMITOOL 270 fournit un système photorésist complet pour faciliter la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Ses caractéristiques sont conçues pour offrir une photolithographie précise et automatisée pour la production de ces composants. Sa souplesse et sa commodité permettent un traitement efficace d'une grande variété de matériaux de substrat.
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