Occasion SEMITOOL 270 #9036302 à vendre en France

SEMITOOL 270 est un équipement de photorésistance entièrement automatisé conçu pour des processus de dépôt physique en phase vapeur (PVD) et de gravure fiables. Il fournit des capacités avancées de dépôt de matériaux pour la fabrication de circuits intégrés, MEMS, nanotechnologie, et dépôt de couches minces. 270 offre un contrôle automatisé de pointe du dépôt physique en phase vapeur (PVD), des procédés de gravure et de recuit, ainsi que du traitement chimique et mécanique (CMP). Le système dispose d'une source de plasma RF avancée, d'une unité de manipulation robotisée robuste, d'un chauffage in situ, de précurseurs intégrés et de diagnostics post-processus puissants. SEMITOOL 270 est équipé d'une chambre de processus multifonctions, capable de fournir des taux de dépôt de matériaux élevés dans une grande variété de matériaux tels que AL, Cu, TiN et ITO. La machine de manutention robotique intégrée est capable de manipuler jusqu'à 30 plaquettes à la fois en mode simple et multi-tour. Cela rend l'outil efficace et offre un haut niveau de flexibilité de processus. 270 est également équipé d'une source de plasma RF robuste, qui permet un dépôt à basse température et à basse pression. Le procédé est compatible avec les substrats en aluminium et permet d'obtenir des couches de matériaux de haute qualité. Cette option est idéale dans les situations où un contrôle précis des processus de dépôt est nécessaire. L'actif de chauffage intégré in situ sur SEMITOOL 270 permet un contrôle précis de la température pendant les processus de gravure et de dépôt. Ce modèle offre une répartition uniforme de la température, une faible diffusion thermique et une température constante à travers la plaquette. Cette caractéristique permet un traitement reproductible et une répétabilité améliorée dans les applications de gravure et de dépôt. 270 comprend également des précurseurs intégrés, qui fournissent un dosage automatisé et le stockage des précurseurs dans la chambre de procédé. Cette caractéristique réduit le besoin de manutention manuelle et minimise les déchets. L'équipement est également équipé de diagnostics post-processus puissants, qui fournissent une analyse complète des résultats du processus pendant et après le processus de dépôt. Cela garantit une qualité de couche constante tout au long de l'exécution de la plaquette. En conclusion, SEMITOOL 270 est un système de photorésistance avancé qui offre des caractéristiques et des capacités robustes idéales pour une variété d'applications dans la fabrication de circuits intégrés, MEMS, nanotechnologie et dépôt de couches minces. La chambre de processus multifonctions de l'unité, la robotique intégrée, la source de plasma RF, la machine de chauffage in situ, les précurseurs intégrés et les diagnostics post-processus se réunissent pour fournir des résultats fiables, précis et uniformes.