Occasion SEMITOOL 270D #9113800 à vendre en France

SEMITOOL 270D est un équipement photorésist entièrement automatisé conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Il est spécifiquement conçu pour traiter jusqu'à 300 mm de wafers de processus et est capable de quatre, cinq, ou huit pipelines de processus avec des paramètres programmables. Le système est équipé d'un contrôleur PLC avancé et d'une fonction d'auto-configuration pour assurer un contrôle précis du processus et l'optimisation du rendement. Il comprend également une unité sophistiquée de cueillette de plaquettes CASSETTEMD, qui positionne les plaquettes avec plus de précision que les méthodes classiques. En outre, la machine fournit un environnement propre et non contaminé pendant le traitement des plaquettes. 270D est équipé d'un exposant d'image de source à rayons γ de pointe. Il offre une gamme de paramètres d'exposition incluant le foyer, la dose, la profondeur de champ, la taille et la forme du champ de l'appareil, et les tolérances d'alignement. La plaquette dans un environnement sec est exposée à un rayonnement actinique pour former un motif et une image désirés. La précision d'exposition à l'image est de 10 μ m de hauteur, tandis que la précision d'enregistrement est de 0,3 μ m. L'outil est également équipé d'une unité de traitement de géométrie (GPU) embarquée pour permettre des techniques avancées de balayage et de découpage de lithographie telles que des fonctionnalités de sous-résolution et des expositions multifréquence. L'actif de processus entièrement automatisé comprend également un module de processus avancé pour le nettoyage, le développement, le décapage photosensible, la livraison chimique de soupapes flottantes et le conditionnement. La chambre de processus fournit un environnement propre sans contaminant et est équipée de fonctions d'exploitation forestière sophistiquées pour surveiller les paramètres de recette de processus. La mesure d'épaisseur ex-situ est également facilitée par le moniteur d'épaisseur en chambre en temps réel. D'autres caractéristiques comprennent un modèle de dépôt de film TN à grande vitesse d'écoulement pour la couche d'adhérence, un contrôle automatisé du dépôt de film mince avec contrôle intégré de la contamination de surface et une surveillance plasma en temps réel. Dans l'ensemble, l'équipement de photorésistance SEMITOOL 270D est une solution fiable et efficace pour la fabrication de semi-conducteurs. Il offre une cohérence et un contrôle de processus supérieurs, tout en fournissant un débit de plaquettes fiable. Il est spécifiquement conçu pour répondre aux exigences strictes des applications de production à haut volume dans des industries telles que le MEMS, la microélectronique et l'optoélectronique.