Occasion SEMITOOL 270F #178372 à vendre en France
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ID: 178372
Table-top Spin Rinse Dryer (SRD)
Capable of processing up to 6" wafers
"F" model has the class 10 poly, brush motors and the PSC-101 controller
Controller Compatability: PCS-101
DI Water Recirculation: YES
Motor Seal: Ferrofluidic
Motor Type: Brush
N2 Heater Capable: YES
Resistivity Monitoring Capable: YES
Rotor Type: 4 Bolt
Static Eliminator Capable: YES
Substrate size: 150 mm max.
System Configuration: Table Top Single Bowl
Specifications:
101 Controller, Digital
Polypropylene cabinet
Up to 6" process capability
Brush motor
Teflon DI and N2 lines
Color coded pneumatic tubing
Bowls to be electropolished
Ferrofluidic Seal design
110V ready system
4 Bolt rotor design - No rotors are included
DI resistivity monitor option is included
Anti Static module option is included
DI recirculation option is included
Electropolish metal surfaces
Spin dryer bowl
Nitrogen manifold
Mounting brackets
Components:
Gaskets & O-Rings for
D.I. Water Manifold
Nitrogen manifold
Rear bowl seal
Door seal
Vibration dampers
Color-coded pneumatic tubing
Teflon lines for N2
Teflon lines for D.I.
DI Nozzles
N2 Filter.
SEMITOOL 270-F est un équipement de traitement de photorésistance entièrement automatisé conçu pour les processus de photolithographie les plus difficiles. 270-F offre le plus haut niveau de polyvalence et de performance avec son fonctionnement entièrement automatisé et des capacités de processus de pointe de l'industrie. Grâce à sa capacité à traiter les photorésistances humides et sèches sur divers substrats, SEMITOOL 270-F est le choix idéal pour un large éventail d'applications photolithographiques. 270-F est conçu pour un contrôle de température maximum avec sa double zone de température et ses capacités de chauffage et de refroidissement automatisés. Cela garantit des résultats de développement cohérents pour de multiples processus. Les utilisateurs peuvent également surveiller et ajuster les températures avec l'interface utilisateur écran tactile. SEMITOOL 270-F comprend également un désublimateur sous vide qui réduit la concentration de composés organiques tels que l'acétate de butyle ou la méthyléthylcétone dans l'air d'échappement. 270-F offre également une foule d'options de processus qui vont du simple traitement avant à arrière de la résine photosensible, à des applications plus avancées telles que trois aligneurs de contact passe et systèmes de recuit. Les systèmes de transport de bandes et de plateaux assurent une manipulation fiable des substrats tandis que le système unique d'alignement de contact maintient une épaisseur de films aussi mince que 2 micromètres. L'unité offre également une variété de méthodes de spin telles que simple, double face, et dip-spin pour enduire et développer des processus. SEMITOOL 270-F est conçu pour une utilisation avec une variété de solvants organiques et peut utiliser des solutions non aqueuses telles que les terpènes, le toluène et l'alcool isopropylique. Ceux-ci peuvent être utilisés pour assurer une dissolution optimale des photorésistes. Des dispositifs de sécurité tels que le rinçage des chambres, les épurateurs de fumées chimiques et les systèmes d'échappement aident à évacuer les vapeurs nocives et à réduire au minimum les produits chimiques dangereux dans la zone de travail. Dans l'ensemble, 270-F est la solution idéale pour tous ceux qui recherchent une machine de traitement de résines photosensibles facile à utiliser et entièrement automatisée avec un contrôle de température robuste et une multitude d'options de processus. Grâce à ses caractéristiques de manipulation et de sécurité fiables, SEMITOOL 270-F est une solution rentable et efficace pour les processus de photolithographie.
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