Occasion SEMITOOL 270S-L #293753968 à vendre en France
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ID: 293753968
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2002
Spin rinse dryer, 6"
2002 vintage.
SEMITOOL 270S-L est un équipement photorésist polyvalent conçu pour le traitement haute performance des plaquettes semi-conductrices dans l'industrie des semi-conducteurs. Cet outil de pointe offre des options de contrôle de précision et de personnalisation pour l'application de matériaux photorésistants sur des plaquettes de silicium, permettant un tissage complexe pour la fabrication de circuits intégrés et d'autres dispositifs électroniques. Au cœur de 270S-L se trouve sa plate-forme innovante qui intègre plusieurs modules pour le chargement, le revêtement, la cuisson et le développement de processus de substrat. Le système dispose d'une unité robuste de manipulation de substrat robotique qui assure un transfert et un positionnement efficaces des plaquettes dans les chambres de traitement avec une répétabilité et une précision élevées. Cette capacité d'automatisation minimise l'intervention humaine, réduisant le risque de contamination et augmentant la productivité. Le module d'enrobage de SEMITOOL 270S-L est équipé d'une technologie avancée d'enrobage pour l'application uniforme et précise de matériaux photorésistants sur la surface de la plaquette. En contrôlant des paramètres tels que la vitesse de rotation, le temps de rotation et le volume de distribution, les utilisateurs peuvent obtenir l'épaisseur et la couverture souhaitées pour leurs besoins spécifiques en lithographie. La machine offre également des options pour les formulations de photorésist à base de solvant et sans solvant, répondant à un large éventail de besoins de processus. Après l'étape de revêtement, les plaquettes sont transférées dans le module de cuisson de 270S-L pour le durcissement et le séchage du film de résine photosensible. Cette étape critique assure l'élimination des résidus de solvants et l'amélioration des propriétés d'adhésion, conduisant à une meilleure définition et résolution des motifs lors des étapes ultérieures de lithographie. L'outil fournit des profils précis de contrôle de température et de chauffage pour optimiser le processus de cuisson pour différents matériaux photorésistants et épaisseurs de film. Après cuisson, le module développé de SEMITOOL 270S-L complète le processus de lithographie en retirant sélectivement la résine photosensible des zones exposées de la plaquette. L'actif utilise des techniques avancées de développement, telles que les méthodes de pulvérisation ou d'immersion, pour obtenir un transfert et une résolution précis des motifs selon les spécifications de conception. En ajustant des paramètres tels que la concentration du développeur et le temps de contact, les utilisateurs peuvent adapter le processus de développement pour répondre aux exigences exigeantes de leur processus de fabrication de semi-conducteurs. En plus de ses capacités de traitement de base, 270S-L est équipé d'une interface conviviale qui permet aux opérateurs de surveiller et de contrôler le modèle avec facilité. Le logiciel intuitif fournit une rétroaction en temps réel sur les paramètres de processus, les alarmes et les calendriers de maintenance, permettant une gestion proactive des performances de l'outil et assurant des résultats optimaux. En outre, l'équipement est conçu avec des caractéristiques de sécurité robustes et des contrôles environnementaux pour assurer le respect des réglementations et des normes de l'industrie. Dans l'ensemble, SEMITOOL 270S-L est un système photorésist de pointe qui offre une précision, une fiabilité et une flexibilité inégalées pour les applications de fabrication de semi-conducteurs. Grâce à ses capacités avancées d'automatisation, de revêtement, de cuisson et de développement, cet outil permet aux fabricants de semi-conducteurs d'obtenir des résultats de haute qualité et de stimuler l'innovation dans le développement d'appareils électroniques de nouvelle génération.
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