Occasion SEMITOOL 270S #178056 à vendre en France
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ID: 178056
Table-top Spin Rinse Dryer (SRD)
Specifications:
101 Controller, Digital
Polypropylene cabinet
Up to 6" process capability
Brushless motor
Teflon DI and N2 lines
Color coded pneumatic tubing
Electropolished Bowls
Labyrinth Seal design
110V
QD rotor design - No rotors are included
DI resistivity monitor option is included
Anti Static module option is included
DI recirculation option is included
Bowl opening is 11.5" wide
Bolt pattern on the rotor is spaced out at 7.5" in diameter.
SEMITOOL 270S Photoresist Equipment est un outil de traitement de plaquettes haute performance conçu pour répondre à la dernière demande du marché pour le traitement de lithographie à semi-conducteurs. Cet outil est conçu pour traiter jusqu'à 150 mm de plaquettes sur une variété de photomasques, substrats et revêtements, et est le choix parfait pour les procédés lithographiques tels que la gravure, l'implantation ionique, l'implantation et d'autres procédés avancés. SEMITOOL 270-S dispose d'un système de positionnement robotique à 7 axes et d'une unité de mouvement d'arrêt à 4 axes, tous deux reliés à un contrôleur pour assurer un processus optimal. L'ensemble de la machine est intégré avec un ordinateur de contrôle de mouvement et une interface opérateur. L'ordinateur permet à l'opérateur de contrôler la machine à distance, en manipulant les différents moteurs robotiques. L'interface opérateur, quant à elle, permet à l'opérateur de suivre l'avancement du processus ainsi que d'ajuster des paramètres spécifiques. En termes de traitement des plaquettes, 270S est capable d'administrer efficacement l'exposition à la lumière, le spin et le revêtement par pulvérisation, le pré-bake et le post-bake, le nettoyage et le revêtement du dos, ainsi que les opérations de cuisson après exposition. L'outil peut fonctionner à des vitesses allant jusqu'à 180 watts par seconde et peut être programmé en conséquence. Il dispose également d'un actif de correction automatisé avancé pour améliorer encore le contrôle des processus. En termes de sûreté et de sécurité, 270-S offre des niveaux élevés de contrôle et d'automatisation grâce à un certain nombre de fonctionnalités clés. Le modèle est livré avec un protocole de sécurité avancé, qui empêche le mouvement non autorisé ou la modification de la machine. En outre, les moteurs robotisés sont équipés de dispositifs de sécurité et l'ensemble de l'équipement est conçu pour répondre aux exigences les plus strictes en matière de sécurité incendie. En résumé, SEMITOOL 270S Photoresist System est un outil fiable, puissant et efficace de traitement de plaquettes conçu pour répondre aux dernières exigences de traitement de lithographie de semi-conducteurs. Il offre des niveaux élevés de sécurité, de précision et de contrôle, et l'interface avancée de l'ordinateur et de l'opérateur rend la programmation à distance et la surveillance extrêmement facile.
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