Occasion SEMITOOL 4300S #293608837 à vendre en France

SEMITOOL 4300S
Fabricant
SEMITOOL
Modèle
4300S
ID: 293608837
Spin Rinse Dryer (SRD) Chamber, 8" 102 Digital controller N2 seal non-contact labyrinth Electro polished bowl Brushless motor with LC-4 controller Static eliminator assembly Resistivity monitor and probe DI Water recirculation Bowl heater blankets N2 Cartridge heater Single bolt rotor 240 Volt step down transformers Particle counts < 25 at .3 micron Single stack cabinet.
SEMITOOL 4300S est un équipement photorésist haut de gamme conçu pour des applications avancées de fabrication microélectronique. C'est un système de revêtement et de développement entièrement automatisé qui peut gérer une large gamme de tailles et de processus de plaquettes. L'unité comprend également un contrôle automatique de l'épaisseur du film pour les photorésistes positifs et négatifs. Il est chargé de fonctionnalités avancées pour optimiser le contrôle des processus, le temps de disponibilité des outils et les rendements. La machine SEMITOOL 4300 S permet un contrôle précis de l'épaisseur du film sur toute surface du substrat, y compris le verre, le silicium et le quartz. Son interféromètre optique avancé fournit l'épaisseur absolue du film au niveau de la plaquette et effectue des mesures d'épaisseur précises en quelques minutes. Cet outil intègre également un mode de balayage inverse, un humidificateur multi-canaux et une technologie de mesure basée sur la fibre optique pour assurer la répétabilité, la précision et la reproductibilité. 4300S est livré avec une cassette programmable automatique 18 pas 200 mm qui assure que les plaquettes sont chargées, nettoyées et exposées de manière appropriée. Il est équipé d'un pulvérisateur résistant chimiquement avec une technologie de buse brevetée qui permet d'obtenir des paramètres de revêtement précis et uniformes. L'actif comprend également un module de pressage à quatre cylindres propriétaire pour contrôler avec précision la pression et le débit de la chambre afin d'assurer une épaisseur de film uniforme et des rendements élevés. 4300 S est également équipé d'un logiciel avancé de contrôle des processus qui comprend un moniteur matériel pour surveiller les paramètres des modèles, un éditeur de recettes pour personnaliser et modifier les paramètres des processus et un gestionnaire de production pour suivre l'historique de production et les statistiques. L'équipement intégré de détection automatique des défauts réduit la contamination en surveillant le film photorésist et la surface du substrat pour détecter les anomalies non visibles par l'oeil. Enfin, SEMITOOL 4300S est livré avec un design ergonomique qui permet une accessibilité facile et une maintenance simplifiée. Ses caractéristiques et fonctionnalités garantissent un traitement efficace et une production fiable tout en protégeant contre la contamination involontaire et en minimisant les coûts. Le système automatisé offre une répétabilité élevée, une faible contamination croisée, de bonnes performances photolithographiques et une meilleure productivité dans l'assemblage des produits microélectroniques.
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