Occasion SEMITOOL 4300S #9221068 à vendre en France

SEMITOOL 4300S est un équipement de traitement de photorésistance conçu pour éliminer les couches minces et les substrats semi-conducteurs, et pour permettre la réalisation de circuits intégrés (IC). C'est une plate-forme idéale pour une production économique, de haut volume et de haute précision. Le système se compose d'un moteur pas à pas à trois axes et d'un poste de chargement directionnel de plaquettes de vide. La plaquette est chargée sur un support qui est déplacé par le moteur pas à pas selon les axes x, y et z. La pompe à vide attire la plaquette sur le poste de travail, puis le moteur déplace la plaquette à travers les étapes du processus. SEMITOOL 4300 S est équipé d'un applicateur de film à résistance de précision, qui utilise une vitesse de rotation programmable et une turbo-pompe UHV. Ceci assure un dépôt uniforme du film de résine photosensible sur la surface de la plaquette. La précision du dépôt est encore renforcée par une commande de vitesse de post-spin de précision, qui optimise le couple appliqué à la plaquette. Une unité de métrologie optique est utilisée pour surveiller le dépôt du film de photorésist sur le substrat. L'épaisseur de la plaquette est mesurée et une contre-réaction est donnée à l'applicateur pour ajuster la vitesse du rotor en fonction de l'épaisseur désirée. La plaque chaude est réglable, ce qui permet de régler des variables de processus telles que le temps de gravure et la température. Le rotor dispose d'une machine de refroidissement pour assurer une température uniforme pendant le processus de photorésistance. L'outil comprend également un compartiment à déchets pour recueillir le film photorésistant usagé. 4300S est un actif polyvalent qui peut être utilisé pour une variété d'applications de processus de photorésist. Il est fiable et stable, permettant une production cohérente d'IC de haute précision. Le modèle offre également un excellent rapport coût-efficacité, ce qui en fait un excellent choix pour les besoins de la ligne de production.