Occasion SEMITOOL 440S #9137505 à vendre en France

SEMITOOL 440S
Fabricant
SEMITOOL
Modèle
440S
ID: 9137505
Spin rinse dryer, up to 4" 102 Controllers, Digital Non-Contact Labyrinth Rear Bowl Shaft Seal Brushless Motor Rotor up to 4” Electro polished Bowl Polypropylene Cabinet “ Aero Style” Resistivity Static Eliminator Particle counts < 25 at 0.3 micron 17 meg Ohm DI water and class 1 N2.
SEMITOOL 440S est un équipement de photorésistance conçu pour le traitement de masques de haute précision et à haut débit et les opérations critiques de gravure par voie humide dans la fabrication de semi-conducteurs. Le système convient le mieux dans les situations où la propreté critique et le traitement de précision sont nécessaires, comme la définition ultra-fine des technologies de pointe. L'unité comprend une architecture de plate-forme à double contrôleur en boucle fermée qui entraîne deux équipements distincts - l'aligneur de masque et le module de traitement humide. L'alignement du masque est utilisé pour aligner avec précision les caractéristiques du photomasque avec le substrat pendant le traitement tandis que le module de traitement humide est responsable du processus de gravure humide. Le masque aligneur est construit à partir d'une plaque de cuisson électrostatique et d'un laser UV de puissance réglable pour assurer l'alignement précis des caractéristiques de photomasque avec le substrat. Il peut traiter un large éventail de substrats allant des panneaux plats aux surfaces tridimensionnelles, et présente une taille de substrat de 10 pouces. La plaque de cuisson est utilisée pour durcir la résine photomasque avant le processus d'exposition aux photomasques. Le module de traitement humide est responsable d'une gamme d'opérations de gravure humide, y compris la gravure humide, la gravure d'oxyde, la gravure à la vapeur, le nettoyage et l'amorçage. Il est construit à partir d'une chambre à quartz en deux étapes et utilise des procédés chimiques et physiques pour obtenir les résultats de gravure et de nettoyage souhaités. Les capacités d'automatisation et de contrôle de la machine sont basées sur SEMITOOL Command Software Suite, qui fournit un processus sophistiqué et un contrôle d'alignement. Le logiciel comprend des fonctionnalités telles que la surveillance en temps réel des bords exposés, le contrôle d'alignement de haute précision, le contrôle laser de puissance réglable, la surveillance des processus en temps réel et le diagnostic des processus en ligne. L'outil dispose de capacités d'auto-calibrage qui garantissent des performances fiables et répétables, ainsi que d'une fenêtre de processus de gravure programmable qui permet des recettes de processus personnalisées. L'actif comprend également des dispositifs de sécurité complets tels que des alarmes, des enclenchements de portes et des boutons d'arrêt d'urgence pour protéger les opérateurs et l'équipement contre les conditions dangereuses. Dans l'ensemble, 440S est un modèle de photorésist avancé spécialement conçu pour les opérations de haute précision et de traitement de masque à haut débit. Il dispose d'une interface utilisateur facile à utiliser, de capacités sophistiquées de contrôle des processus et de fonctions d'auto-étalonnage qui garantissent des performances fiables et reproductibles. Cela le rend parfait pour la définition ultra-fine des technologies de pointe dans les opérations de nettoyage et de traitement de précision.
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