Occasion SEMITOOL 460S #9229852 à vendre en France

SEMITOOL 460S
Fabricant
SEMITOOL
Modèle
460S
ID: 9229852
Taille de la plaquette: 5"
Spin Rinse Dryer (SRD), 5".
SEMITOOL 460S Photoresist Equipment est un outil automatisé conçu pour les applications de traitement par voie humide dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est capable de manipuler une variété de matériaux photorésistants, y compris des résistances de formulation positive et négative, et des polymères photodéfinissables. L'unité dispose d'un module liquide ProFlex™ II, qui fournit une solution de lithographie par immersion à réservoir unique pour le traitement des plaquettes. Il utilise également des caractéristiques de sécurité avancées et une technologie de contrôle des processus pour garantir un processus fiable et reproductible. 460S est équipé d'un générateur de motifs haute performance qui est capable de générer des recettes variées de résines photosensibles et de les maintenir en mémoire pour une utilisation future. De plus, il est capable de réaliser plusieurs processus simultanés avec jusqu'à quatre types de plaquettes différents, grâce à sa technologie à double voie à quatre rondelles. Cela facilite un processus hautement automatisé, permettant un débit plus rapide et des rendements de plaquettes améliorés. Le système SEMITOOL 460S dispose de deux chambres de processus distinctes, la chambre de développement et la chambre de bande. Les deux chambres utilisent des bains de recirculation entièrement contrôlés en température qui assurent que la résine photosensible résiste à l'exposition à la lumière et maintient un niveau de température constant tout au long du processus. De plus, la conception de la chambre évite la contamination croisée entre les deux chambres en éliminant le potentiel d'éclaboussures de plaquettes lavées sur les parois de cloison. 460S comprend également un certain nombre d'accessoires optionnels, tels qu'un module masque ombre, qui permet de placer rapidement et précisément des motifs de résines photosensibles sur des plaquettes, et une station de transfert de panier, qui permet le pompage isolé des cassettes et des planchers. L'unité comprend également un logiciel de contrôle de processus avancé pour surveiller et enregistrer les conditions tout au long du processus. Enfin, l'unité possède une variété de niveaux de puissance pour assurer un traitement humide optimal de tous les matériaux photorésistants. En résumé, SEMITOOL 460S Photoresist Machine est un outil avancé conçu pour fournir un traitement humide automatisé d'une variété de matériaux photorésistes positifs et négatifs. Il dispose d'un logiciel avancé de contrôle des processus, de bains de recirculation pour des températures constantes, et de diverses fonctionnalités et accessoires supplémentaires pour assurer un processus fiable et répétable.
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