Occasion SEMITOOL 470F #151769 à vendre en France
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SEMITOOL 470F est une solution automatisée pour le revêtement, le développement et le nettoyage des plaquettes utilisées dans l'industrie des semi-conducteurs. Sa conception avancée facilite une plus grande précision et répétabilité dans les opérations de traitement des plaquettes, y compris les opérations de film sec et de film humide. Le système est conçu pour appliquer des photorésistances aux plaquettes simples et doubles faces. Les photorésistes sont un matériau polymère organique uniforme et sensible à la lumière, utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. L'application d'une photorésist à une plaquette aide à créer des caractéristiques pour chaque dispositif, permettant la fabrication de dispositifs semi-conducteurs à pas fin. 470F est composé de modules multiples qui sont intégrés à travers la ligne de processus wafer. Cela comprend le chargeur de wafer automatique (AWL), le transport de wafer, et divers modules de processus tels que le Spin Coater, Spinner, Développeur, Nettoyeur de cassettes, et Hot Slot. Le chargeur automatique de plaquettes (AWL) assure un positionnement et un transfert fiables et précis des plaquettes vers et depuis l'unité. De plus, l'AWL permet le montage de cassettes sur une interface compatible, permettant un transfert de cassettes à cassettes efficace et fiable. Le module de transport de la plaquette fournit un contrôle complet du transport et du mouvement tandis que le chemin de transport reconfigurable est réalisé par une machine complète de contrôle du mouvement en boucle fermée et d'enregistrement des données. Les modules de procédé permettent d'appliquer la résine photosensible sur la plaquette. Le Spin Coater est utilisé pour créer des revêtements uniformes sur la plaquette à des vitesses élevées. Le Spinner est utilisé pour développer la photorésist sur la plaquette, pour éliminer l'excès de photorésist et pour éliminer les résidus. Le module Developer est utilisé pour retirer la photorésist indésirable avant la gravure ou la création des motifs du circuit. Le nettoyant Cassette est utilisé pour nettoyer la plaquette pendant l'opération en pulvérisant des solutions de nettoyage. La fente chaude est utilisée pour le séchage de la résine photosensible. En conclusion, SEMITOOL 470F Photoresist Tool est une solution automatisée complète pour le revêtement, le développement et le nettoyage des plaquettes utilisées dans l'industrie des semi-conducteurs. Les modules intégrés et la conception avancée permettent une plus grande précision et répétabilité dans les opérations de traitement des plaquettes.
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