Occasion SEMITOOL 470S #9105722 à vendre en France

SEMITOOL 470S est une unité de photorésistance utilisée pour le traitement de plaquettes semi-conductrices lors de processus de photolithographie. L'équipement est un outil complet, conçu pour traiter les applications avant et arrière avec une intervention minimale de l'opérateur. Le système est construit sur une unité de manutention de plaquettes supportée par un actionneur X-Y haute résolution qui peut gérer une variété de tailles et d'épaisseurs de plaquettes. Il peut également échanger des tailles de plaquettes avec un temps d'installation minimal, en utilisant la machine d'alignement automatique (AAS) qui compense les écarts de position entre les substrats. SEMITOOL 470 S est équipé d'un outil automatisé de livraison de produits chimiques qui assure une livraison précise à la surface de la plaquette et limite l'exposition aux matières dangereuses. L'actif dispose d'une capacité hot.cold, permettant un traitement à la fois chaud et frais. Il est également livré avec une large gamme de capacités de traitement de résistance thermique, y compris pré-cuisson, oxyde thermique, gravure d'oxyde, et DRIE. 470S a un modèle PLC qui surveille tous les paramètres de l'unité et basé sur le programme, crée une interface graphique sur le contrôleur de systèmes. Cela garantit que toutes les étapes du processus sont exécutées de manière optimisée et répétable. L'équipement dispose d'une station de traitement polyvalente (MPPS) pour le traitement des options de nettoyage de substrat, gravure, résistance Appliquer, cuisson après exposition, durcissement, gravure, gommage de spin, cendrage, etc. 470 S est conçu avec une chambre de processus étanche et un système de livraison de dopant embarqué. Cela permet de traiter les plaquettes dans une atmosphère sans oxygène et sans eau, assurant une vitesse de gravure optimale. L'unité est également équipée d'une machine de surveillance optique avec caméra CCD, permettant à l'opérateur d'observer le processus en temps réel. Enfin, SEMITOOL 470S comprend une source UV pour des procédés photolithographiques de haute qualité. L'unité est équipée avec un 13.5sq.cm le masque d'exposition standard et peut aussi être utilisée avec un 375nm, le laser d'UV pour les processus plus précis. En conclusion, SEMITOOL 470 S est un outil de photorésistance polyvalent et fiable qui fournit à l'opérateur une panoplie d'options de processus. L'unité est conçue avec un contrôle et une surveillance faciles, assurant des résultats cohérents et reproductibles.