Occasion SEMITOOL 470S #9254338 à vendre en France

Fabricant
SEMITOOL
Modèle
470S
ID: 9254338
Spin Rinse Dryer (SRD).
SEMITOOL 470S Photoresist Equipment est un banc humide automatisé haute performance conçu pour être utilisé dans les procédés photolithographiques utilisés dans la fabrication de circuits intégrés semi-conducteurs. Le système peut appliquer un traitement avancé des matériaux photorésistants aux plaquettes semi-conductrices de différentes tailles, de 200mm à 500mm, avec dépôt diélectrique et métallique. L'unité dispose d'un convoyeur automatisé qui transporte les plaquettes entre les étapes de traitement, d'un banc humide à température de plusieurs zones et d'une machine de contrôle de recettes logicielle sophistiquée. Cette combinaison de fonctionnalités avancées permet à l'outil de produire une couche photorésist uniformément traitée sur des plaquettes sans intervention manuelle. SEMITOOL 470 S est conçu pour déposer des matériaux photorésistants avancés qui comprennent l'élimination de la résistance à la couche supérieure, la formation d'un revêtement antireflet (ARC), la construction d'une nouvelle couche de photorésist ou le remplacement de la couche endommagée ou défectueuse existante, et l'augmentation ou la diminution de l'épaisseur de la photorésistance. Cet actif avancé fournit des performances de débit élevées et un nettoyage fiable des plaquettes, facteurs critiques dans la fabrication des semi-conducteurs. Le modèle comprend des solutions de photorésist de traitement LOR5, LOR6 et LOR7, permettant des variations dans le préconditionnement des modules de processus et la conception des bancs humides. L'équipement de contrôle de 470S est commandé par une plate-forme d'opérateur, permettant une configuration et un réglage faciles des paramètres de processus. Le système est également capable de surveiller le processus de la plaquette étape par étape pour fournir des résultats précis et fiables. En plus des caractéristiques mentionnées, la 470 S offre des paramètres de nettoyage réglables et une pression de module variable, permettant une meilleure manipulation des plaquettes et un meilleur contrôle de la qualité de la résine photosensible. L'unité est conçue pour utiliser des outils de distribution de précision qui augmentent la précision pendant le processus de stratification photorésist. Ces fonctionnalités, combinées à sa machine de contrôle de recette logicielle avancée, permettent à SEMITOOL 470S de fournir un excellent processus de photorésistance pour une variété d'applications de semi-conducteurs.
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