Occasion SEMITOOL 480 #78270 à vendre en France
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ID: 78270
S-Style Spin rinser dryer bench top (1 bowl system), remanufactured
Accommodates up to 8” low profile
102 Controllers, Digital
Brushless motor
Non-contact labyrinth seal upgrade for motor drive and bowl assembly
Rotor Quick Disconnect, for a low profile cassette A192-81M
Resistivity Monitor
Static Eliminator Assembly
Complete Documentation Package
Guaranteed Particle counts <50 at .3 micron
Polypropylene Cabinet “Aero Style”
Electro-polished Bowl
17 meg Ohm DI water and class 1 N2.
SEMITOOL 480 Photoresist Equipment est un système automatisé permettant le traitement et le décapage des motifs photorésistants avec une grande vitesse, répétabilité et précision. L'unité utilise des robots de charge frontale pour transférer des plaquettes entre la station de pré-nettoyage, Hot Plate, Track and Developer Station et Unload Station. La station de pré-nettoyage est conçue pour nettoyer les surfaces des plaquettes pour éliminer les résidus préexistants et fournir un point de départ idéal pour résister à l'application. La plaque chaude fournit une température uniforme à travers la plaquette pendant les processus pré-cuisson et post-cuisson, ainsi que d'exposer le motif de résistance. Le module Track est équipé d'une machine à microprocesseur avancée qui ajuste la vitesse du plateau, la taille de la buse et l'épaisseur du film sur une base par tranche. Le Developer Station est équipé d'un spinner optimisé et de buses de pulvérisation multidirectionnelles pour un développement rapide et précis du motif de résistance. La station de déchargement est conçue pour positionner avec précision la plaquette après les processus de cuisson et de chenille. L'outil est conçu pour manipuler des plaquettes jusqu'à 8 pouces de diamètre et traiter des bandes jusqu'à 1mm d'épaisseur. Il offre une excellente répétabilité d'alignement, la précision du coin, et d'autres paramètres critiques avec une cohérence maximale. 480 est également facile à programmer et à entretenir, et fournit un bien de recouvrement de défaut en cas de défaillance. Le modèle est idéal pour les applications de dispositifs semi-conducteurs et est conçu pour assurer un rendement maximum et un rapport coût-efficacité.
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