Occasion SEMITOOL 480S #135528 à vendre en France
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SEMITOOL 480 S est un équipement de photorésistance qui est utilisé pour effectuer des opérations de traitement par voie humide monobloc dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. Il dispose d'une solution d'automatisation exclusive de bout en bout pour le nettoyage, la gravure, le décapage et le séchage des couches de résine photosensible sur les plaquettes semi-conductrices. 480 S est conçu pour traiter avec précision et précision jusqu'à 16 plaquettes dans chaque lot. Il utilise une seringue robot mécanique descendante pour distribuer de petites quantités de fluide photorésist sur la surface de la plaquette. Il s'agit d'une unité respectueuse de l'environnement qui minimise les déchets liquides et maximise l'uniformité des procédés. La machine dispose également d'une vanne de distribution réglable qui assure une distribution optimale et cohérente de la résine photosensible sur la surface de la plaquette. L'outil photorésist assure également une répartition efficace et uniforme du liquide en utilisant un collecteur de pulvérisation spécial et une combinaison de buses. Il en résulte une homogénéité supérieure de la photorésist à travers la plaquette et évite le gaspillage de photorésist lors du dépôt sur de plus grandes zones de filière. SEMITOOL 480 S utilise également un mouvement de lavage spécialisé appliqué sur la surface de la plaquette pour réduire le nombre de défauts par plaquette. De plus, une plate-forme circulaire permet à la plaquette de tourner en continu pendant l'application de la résine photosensible, ce qui conduit à un revêtement uniforme à travers la plaquette. Cet actif dispose également d'une série de chauffages et de thermocouples dédiés qui mesurent la température de la plaquette pendant tout le processus d'application de la résine photosensible. Cette surveillance garantit que la plaquette est maintenue à une température constante, d'où un rendement plus élevé et une meilleure qualité de la couche de résine photosensible. Enfin, la 480 S dispose d'un algorithme de séchage automatisé qui garantit que toute la résine photosensible est retirée de la plaquette, ce qui laisse une finition de surface propre et haute résolution. Le procédé de séchage élimine tout résidu ou particule de surface et évite les dommages à la couche photorésistante sous-jacente.
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