Occasion SEMITOOL 8300S #9275 à vendre en France

SEMITOOL 8300S est un système de traitement photorésistant principalement conçu pour la gravure et le développement de plaquettes jusqu'à 8 pouces de diamètre. Il offre un contrôle précis et des résultats reproductibles, ce qui le rend adapté à toute une gamme d'applications de semi-conducteurs, y compris le MEMS, la nanotechnologie et l'optoélectronique. Il est composé d'une station de banc humide qui accueille deux réservoirs chimiques - qui peuvent être préprogrammés avec de multiples procédés - et d'une chambre de traitement. Le système est équipé d'un large éventail d'accessoires, tels qu'un neutraliseur acide, un régulateur de pression, un évent sous vide, un échangeur de chaleur et un thermostat numérique pour un traitement sur mesure. La chambre comporte une plaque photorésistante qui répartit uniformément le rayonnement ultraviolet (UV) sur la surface de la plaquette. Il est en outre divisé en deux zones qui peuvent être contrôlées indépendamment - une pour l'activation de l'incision et une pour le développement. L'intensité UV et le temps de traitement peuvent être ajustés pour tenir compte des propriétés des plaquettes telles que l'épaisseur et la résistivité. La plaque de résine photosensible peut être rapidement et facilement enlevée pour passer entre les grands et petits diamètres de plaquettes. Dans la première zone, des masques optiquement actifs sont placés sur la plaquette et activés par la lumière UV. Ceci provoque un processus d'oxydation qui grave et forme en surface les formes désirées. La deuxième zone utilise des solutions chimiques humides pour éliminer l'excès de photorésist et nettoyer la surface. Pour ce faire, on utilise une combinaison d'une pompe à vide, d'un engrenage à haute pression et d'un injecteur à faible débit. Le système ouvre également des possibilités pour des processus de gravure plus complexes utilisant la gravure ionique réactive (RIE) et la gravure ionique réactive profonde (DRIE). RIE peut être utilisé pour graver en trois dimensions, tandis que DRIE est efficace pour enlever les couches épaisses de photorésist et fournir des caractéristiques rasantes. De plus, les procédés de gravure humide peuvent même obtenir des résultats grâce à des techniques de gravure d'oxyde collé. Dans l'ensemble, SEMITOOL 8300 S offre une solution complète et conviviale pour concevoir et fabriquer des plaquettes pour des applications de haute précision. Sa flexibilité en termes d'insertion de plaques, de configurations de pompes et de paramètres de processus lui permet de rester à jour avec les dernières attentes et la technologie.