Occasion SEMITOOL 840S #9088736 à vendre en France
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ID: 9088736
Taille de la plaquette: 4"
Style Vintage: 2002
Dual stack spin rinser dryer, 4"
(2) PSC 101 Controllers
Dual resistivity monitors
Rotors not included
120 VAC / 50-60 Hz / 1 Ph 3-Wire / 15 A
2002 vintage.
SEMITOOL 840S Photoresist Equipment est un équipement de pointe conçu pour la fourniture d'un traitement lithographique ultra-précis des plaquettes semi-conductrices et autres substrats. Il fournit un ensemble complet de caractéristiques qui permet une technologie de fabrication haute performance et cohérente. 840S est une solution de revêtement automatisé à entraînement direct et au-dessus, capable de supporter un large éventail d'applications photorésistantes. Sa technique supérieure réduit la variabilité locale et permet le traitement des plaquettes semi-conductrices de 3 à 12 pouces de diamètre. Sa conception intuitive et conviviale simplifie l'installation, le fonctionnement, l'utilisation et l'entretien, tandis que ses matériaux robustes et sa construction garantissent la durabilité et la fiabilité pour les années à venir. SEMITOOL 840S Photoresist System comprend un dispositif de masquage, un générateur électrique intégré, des contrôleurs à vide, des bancs humides et une puissante suite logicielle pour faire fonctionner l'ensemble. Cette unité conviviale permet aux techniciens de programmer ou d'ajuster les étapes de traitement des photorésistances en une fraction du temps nécessaire aux processus manuels. Les étapes de traitement comprennent la reconnaissance automatique des motifs, le revêtement de spin sec et humide, la pré-cuisson, l'exposition, la post-cuisson, le développement, la résistance au décapage et l'élimination des résidus. 840S comprend également un ensemble complet de diagnostics pour assurer la plus haute performance du procédé dans la plupart des matériaux résistants, y compris la capacité de traiter les résistances négatives et positives, et la possibilité de choisir betweenspin ou évaporation spin revêtement. Pour garantir un rendement maximal de la plaquette, l'imagerie visible, ultraviolette et infrarouge est utilisée pour détecter les défauts ou la contamination. Cette fonctionnalité permet également d'identifier et de corriger les problèmes à la volée. En outre, SEMITOOL 840S est conçu avec la sécurité en tête, offrant jusqu'à quatre capteurs de sécurité intégrés qui peuvent détecter la présence d'une plaquette, ainsi que d'empêcher une plaquette d'être larguée ou excédentaire. Enfin, la machine est soutenue par un plan de service à plusieurs niveaux qui fournit une assistance technique au besoin. 840S Photoresist Tool est une solution fiable et efficace pour la fabrication de semi-conducteurs professionnels.
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