Occasion SEMITOOL 860S #151778 à vendre en France

SEMITOOL 860S
Fabricant
SEMITOOL
Modèle
860S
ID: 151778
Taille de la plaquette: Up to 5"
Spin rinse dryer, up to 5".
SEMITOOL 860S est un équipement de traitement de photorésistance qui fournit une lithographie rapide, précise et fiable pour une large gamme d'applications de fabrication de semi-conducteurs. Ce système comprend un étage de plaquette motorisé de précision, un contrôle de température en boucle fermée et des fonctionnalités d'optimisation photorésist. 860S dispose d'une grande base de panneau de précision 600 X 800mm avec un dissipateur thermique en aluminium de grand format, une unité de mandrin sous vide et un étage de plaquette motorisé de précision. Un contrôleur avancé Cambridge ESI 4560 gère le contrôle, la surveillance et l'affichage des paramètres et des données du processus. L'asservissement dynamique de l'UMPC assure des processus stables et un haut débit. SEMITOOL 860S a été conçu avec un régulateur de température en boucle fermée offrant des températures de processus précises et répétables. Un ensemble de pyromètres et de thermocouples permet de surveiller en temps réel la température de la plaquette pour garantir la répétabilité du processus. Un IRBAPF10 fournit une rétroaction optique à l'étage de plaquette motorisé pour un nivellement et un alignement précis des plaquettes. L'automatisation avancée de la machine permet d'optimiser davantage les processus, y compris le pré-revêtement automatisé, les profils de revêtement et les profils de bandes de résistance. Un gestionnaire de substrat avancé est également utilisé pour la manutention et le tri des plaquettes. L'outil est également capable d'automatiser les soins et l'entretien pour assurer des performances fiables pendant de longues périodes. 860S est un excellent choix pour les applications de lithographie dans le processus de fabrication des semi-conducteurs en raison de sa précision, vitesse et précision. Avec sa gamme de fonctions de contrôle de processus et d'outils automatisés, SEMITOOL 860S se révèle être un choix fiable, précis et économique pour le traitement de résistance aux semi-conducteurs.
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