Occasion SEMITOOL 870 #9139664 à vendre en France

SEMITOOL 870
Fabricant
SEMITOOL
Modèle
870
ID: 9139664
Taille de la plaquette: 6"
Dual stack spin rinse dryer, 6".
Le matériel de photorésistance SEMITOOL 870 est un outil efficace et fiable pour la gravure et la gravure sur une gamme de matériaux de substrat, y compris les métaux, la céramique et le silicium. Le système est équipé d'un plateau à température contrôlée fiable et sans entretien de 10 pouces avec une capacité de gravure ionique réactive (RIE). 870 utilise une combinaison de gaz réactifs pour graver des motifs de photorésist dans les matériaux avec des champs électriques et magnétiques, permettant une précision et une vitesse remarquables dans le processus de gravure. L'unité de dépôt physique en phase vapeur (PVD) sans contact permet un contrôle accru du moment et de la densité du dépôt de masque de résistance. Une variété de substrats peuvent être traités avec SEMITOOL 870, y compris NiFe, SiC, Nb, et Ti, ce qui le rend adapté à un large éventail d'applications. 870 est également livré avec un contrôleur programmable intégré avec 6 zones programmables et jusqu'à 6 recettes définies par l'utilisateur. Il a la capacité de réchauffer certaines parties du plateau à la température désirée pour une répétabilité rapide du processus. La précision de SEMITOOL 870 est encore améliorée avec des vannes mécaniques de distribution thermo-perfectionnées qui offrent des performances de dispense fiables avec un nombre minimal de variations de tir. La machine propose également des options telles que le transfert et le chargement automatisés de masques, des recettes de gravure et de revêtement photorésist hautement configurables, une surveillance continue du débit de gaz, une métrologie laser et des réservoirs de vidange, ainsi qu'un étage de résistance robuste avec jusqu'à 10 conteneurs. Divers matériaux de résistance, notamment des résines à base de métal et de silicate, peuvent être utilisés, ce qui élimine la nécessité de changer les résines pour les procédés multi-applications. De plus, la fonction d'alignement rapide de la 870 garantit que les temps d'alignement de substrat à substrat restent minimes. SEMITOOL 870 est un outil de photorésistance rentable, fiable et avancé qui peut supporter un large éventail de processus de fabrication, ce qui en fait une excellente solution pour ceux qui recherchent un actif de gravure de haute qualité.
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