Occasion SEMITOOL 870 #9265753 à vendre en France

SEMITOOL 870 est une plate-forme automatisée pour le traitement des plaquettes avec des matériaux photorésistants. La photorésist est un revêtement chimique appliqué à la surface de plaquettes qui est sensible à la lumière et qui peut être utilisé pour transférer des motifs lithographiques sur la surface d'une plaquette. 870 système photorésist offre une grande précision et productivité avec un processus de lithographie précis. Il dispose d'un spin-coater hélium qui enrobe la plaquette avec une couche uniforme de matériau photorésist. Le spin-coater est conçu avec des vitesses de rotation configurables par logiciel et des recettes à température contrôlée pour des résultats de processus uniformes. Le revêtement précis et l'épaisseur uniforme de l'unité élimine la nécessité d'un processus de normalisation et augmente le débit. SEMITOOL 870 dispose d'un plateau de procédé d'araignée XY motorisé qui aligne et contrôle précisément la plaquette pendant le processus d'enrobage. La machine comprend également un aligneur photomasque à faible contrainte, avec une résolution allant jusqu'à 50nm, pour un alignement précis et répétable des photomasques et masques durs sur la surface de la plaquette. L'outil offre un contrôle programmable de la température et du processus avec une recette de processus à vue unique, ce qui simplifie l'interaction de l'opérateur. Un atout de pompage à sec intégré élimine le besoin d'un générateur de vide séparé, éliminant le besoin d'échanges manuels de cassettes d'exposition et de masques. Un filtre spatial est également inclus qui simplifie l'accès aux tendances des sources lumineuses et assure une exposition homogène de la lumière sur la plaquette tout en minimisant les marches d'ombre sur la surface. 870 est conçu pour un contrôle fiable des processus et la flexibilité de la production. Le modèle peut accueillir une grande variété de tailles et d'épaisseurs de plaquettes pour n'importe quel type de résiste et peut s'adapter rapidement aux nouveaux changements de recette de processus sans requalification. L'équipement est conçu pour être facile à entretenir, et les remplacements de pièces sont simples et soignés. Et avec plusieurs outils de surveillance des processus configurés, les opérateurs peuvent rapidement vérifier et vérifier les conditions des processus. SEMITOOL 870 est idéal pour tout processus de production de photorésist nécessitant une production précise et répétable. Avec un procédé uniforme et une grande précision, 870 s'efforce d'améliorer la productivité et le rendement de fabrication. Il s'agit donc d'un outil précieux pour la production de résines photosensibles.