Occasion SEMITOOL 870F #293725516 à vendre en France

SEMITOOL 870F est un équipement de photorésistance pour le traitement de dépôt en couches minces dans la fabrication de semi-conducteurs. Il fournit des contrôles de processus exceptionnels avec des capacités d'automatisation uniques. Le système est polyvalent, avec divers modules programmables pour permettre un large éventail de processus personnalisables. 870F est idéal pour une variété de besoins de photorésist, y compris la gravure SiON, l'élimination PR, la coplanarisation, et le dépôt protecteur sur couche. SEMITOOL 870F offre des capacités de contrôle de processus robustes, avec une large gamme d'élimination de variation d'outil à outil, de film à film et de lot à lot. Il est également hautement programmable, permettant des modèles de dépôt précis et des assemblages personnalisables pour diverses quantités de temps d'exposition et de concentrations. 870F est construit sur l'architecture de l'interface de plateforme modulaire (MPI) et les techniques de modélisation prédictive, fournissant une surveillance et un diagnostic améliorés, des prédictions plus strictes, et une optimisation plus rapide des processus. L'unité est dotée d'un design avancé à plusieurs chambres, avec sa chambre de traitement la plus polyvalente équipée d'une tête de dépôt de type tête de douche, d'une machine d'application mécanique à bras et de deux sources de chauffage indépendantes par substrat radiofréquence (RF). Il est à la fois compatible avec le gaz et le liquide, ce qui permet le dépôt de divers matériaux tels que l'oxyde, le nitrure et les métaux sur une variété de dimensions et de formes d'échantillons. SEMITOOL 870F dispose également d'un lecteur d'empreintes digitales intégré, lui permettant de reconnaître la géométrie des plaquettes, le type de substrat et la composition des matériaux pour des plaquettes spécifiques. Cela permet un processus plus fiable, efficace et précis. Son outil de vision haute résolution permet un positionnement rapide et précis du substrat, afin d'assurer un traitement précis et reproductible. Il offre également un temps de mise en place rapide, une manipulation et une adaptation efficaces du substrat, et un entretien facile. L'actif peut être intégré dans n'importe quelle chambre de processus existante avec un temps de transfert minimal, et l'ensemble de la chambre peut être déplacé sans nécessité de requalification. 870F est compatible avec les pods SMIF et FOUP (Front Opening Unified Pods), de sorte qu'il peut facilement être intégré dans une variété d'environnements de salle blanche. Avec son contrôle de processus très précis, son modèle de vision intégrée et son temps de mise en place rapide, l'équipement de photorésistance SEMITOOL 870F est une solution idéale pour une variété de besoins de photorésist dans un environnement de fabrication de semi-conducteurs.