Occasion SEMITOOL 870F #9268564 à vendre en France

Fabricant
SEMITOOL
Modèle
870F
ID: 9268564
Spin Rinse Dryer (SRD) Dual stack No THORNTON controls.
SEMITOOL 870F est un équipement de photorésistance utilisé pour modeler des couches de matériaux photosensibles sur une surface de substrat. Il est spécialement conçu pour la fabrication de composants et de dispositifs semi-conducteurs. Ce système peut être utilisé pour créer différents types de motifs tels que des ouvertures de contact, des ouvertures d'électrodes de grille, des vias, des lignes métalliques et autres. 870F est équipé d'une unité d'imagerie numérique pour rendre avec précision et précision les motifs sur les substrats. La machine intègre un appareil photo numérique à haute résolution, une optique à haut grossissement et un mécanisme de zoom pour un dosage extrêmement précis. La caméra peut être réglée pour une gamme de résolutions allant de 0,1 micron à 0,2 micron et les capacités de déplacement x, y et z-axes offrent une précision illimitée. SEMITOOL 870F utilise une étape de balayage pour assurer un contrôle précis de la zone d'exposition avec des capacités de déplacement X, Y et Z. Cela permet un contrôle précis du processus de mise en forme, assurant la formation précise et cohérente du motif désiré. L'outil d'exposition SCS-211C intègre un mandrin à glissière basé sur le vide/pression pour le serrage automatique du substrat et un atout d'entraînement différentiel modulaire de haute précision avec une précision maximale de 5nm pour un mouvement précis du substrat. 870F dispose également de chambres de traitement modulaires qui offrent un haut degré de flexibilité pour divers besoins de revêtement et de traitement. Par exemple, il présente une chambre de revêtement in situ de spin-coating/resist qui est utilisée pour appliquer des matériaux structurés sur le substrat. La chambre dispose d'un bras de spin de résistance intégré, thermocouple, mandrin de substrat basé sur le vide/pression et un modèle de tête de spinner radiale prédéfini avec contrôle automatique de la vitesse. SEMITOOL 870F est un équipement de photorésistance efficace qui fournit des solutions rentables pour la fabrication et la fabrication de dispositifs semi-conducteurs complexes. Son architecture modulaire offre une flexibilité pour différentes étapes de processus et son système d'imagerie numérique intégré permet de modéliser avec une grande précision les structures complexes. En outre, ses fonctions d'automatisation et ses systèmes de chambres in situ assurent un contrôle cohérent des processus assurant un rendement et un rendement maximaux des dispositifs.
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