Occasion SEMITOOL 880S #38555 à vendre en France
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ID: 38555
SRD with PSC101 or PSC102 digital controllers
Brushless Servo Motors
Heated Nitrogen
Door Hinge Left Side
Single Bolt Rotor setup
Bowls are 200 mm compliant
Functional condition
Video/Training/Startup/Acceptance: 4 hours at our site included
Options included:
Resistivity probe, attaches to PSC101 or PSC102
Anti Static with N2 purge
DI water Recirculation (note b)
Flaretek Fittings
Options available:
Particle verification with rebuild
Emergency power off
Mechanical door lock.
SEMITOOL 880S est un système de dépôt de couches minces et photorésistantes conçu pour le traitement des plaquettes semi-conductrices et la lithographie sans masque. Il combine un distributeur de résines et un aligneur de masque très performants, une source d'évaporation haute performance en couches minces, une microbalance à cristaux de quartz (QCM) et une gestion intégrée du gaz dans une plate-forme compacte et facile à utiliser. SEMITOOL 880 S est le modèle haut de gamme de la série 880, parfait pour l'utilisation dans les industries semi-conductrices et opto-électroniques. 880-S peut dispenser, aligner et appliquer des photorésists avec précision et répétabilité sur des surfaces plates et complexes. La technologie de distribution très efficace et robuste permet des modèles de distribution fiables, même à grande vitesse et avec une extrême précision. 880 S est capable de manipuler difficilement les zones de substrats avec facilité. Un alignement de masque à deux étages assure un alignement précis du motif de résistance sur la surface du substrat. Le dépôt en couches minces est autorisé par une source d'évaporation avancée, contrôlée par des paramètres programmables globaux tels que la pression, la température, la vitesse de dépôt et la pureté des gaz. La source a une faible masse thermique, ce qui permet de fournir efficacement des couches minces qui offrent une uniformité, une épaisseur uniforme et des propriétés de film améliorées. De plus, un microbalance quartz-cristal intégré (QCM) permet de contrôler en temps réel la vitesse de dépôt. SEMITOOL 880-S intègre un système avancé de gestion du gaz qui permet une circulation rapide des mélanges de gaz et d'oxygène préétablis, optimisant ainsi le processus de fabrication. L'appareil fonctionne tranquillement, réduisant la contamination et augmentant la stabilité du procédé. 880S est également très configurable et peut être monté sur les outils de traitement existants pour le traitement intégré. Dans l'ensemble, SEMITOOL 880S est un système de dépôt photorésist et de couches minces incroyablement efficace, fiable et économique. Il est parfait pour une utilisation dans les industries des semi-conducteurs, de l'opto-électronique et de la recherche.
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