Occasion SEMITOOL 880S #9163494 à vendre en France
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ID: 9163494
Taille de la plaquette: Up to 8"
Spin Rinse Dryer (SRD), up to 8"
Rotors
Up to 6" high profile
8" low profile (Fluoroware #A192-81M-0215)
7" square
102 controllers, digital
Non-contact Labyrinth rear bowl shaft seal
Brushless motor
(2) A192-81M rotors
Electro-polished bowl
Polypropylene cabinet - Aero style
Resistivity
Static eliminator
Documentation package
Particle counts < 25 at 0.3 micron
17 meg Ohm DI water and class 1 N2.
SEMITOOL 880S est un équipement de photorésistance conçu pour fournir un traitement de photolithographie robuste et fiable pour diverses applications. Le système est capable de réaliser à la fois des procédés simples et à double face pour le dépôt de couches minces sur des substrats et/ou des dispositifs. L'unité comprend deux sections distinctes - pré-cuisson et exposition. La section pré-cuisson de la machine se compose d'une SEMITOOL 880 S Hot Plate Unit, qui offre une gamme de réglages de température pour la pré-cuisson des plaquettes avant l'application de la résine photosensible. En outre, l'outil est conçu avec de multiples réglages de ventilateur, permettant aux utilisateurs de régler la force de convection dans la chambre de pré-cuisson pour des profils de température de plaquettes uniformes. Le processus de pré-cuisson est également soutenu par les ventilateurs de refroidissement à vide qui aident à réduire les effets de bord sur la plaquette. La section exposition se compose d'une unité d'exposition 880-S qui est équipée d'une lampe DUV 150W (ultraviolet profond). Cet actif est utilisé pour exposer des couches de photorésist sur des plaquettes. Ce processus peut être configuré en mode simple et double face. Pour une exposition simple, le modèle est capable de traiter des substrats jusqu'à 8 pouces de diamètre et jusqu'à 20 mm d'épaisseur. Pour le traitement double face, l'équipement est capable de traiter des plaquettes jusqu'à 4 pouces de diamètre et jusqu'à 10 mm d'épaisseur. La performance globale du système est encore améliorée par divers systèmes de sécurité qui ont été intégrés dans la conception de l'unité. Ceux-ci comprennent des fonctions d'arrêt automatique pour les masques diélectriques et métalliques, ainsi qu'une unité d'interception de pannes. Cela garantit que la photorésistance 880 S fonctionne dans des paramètres sûrs et évite les dommages à l'équipement et les dommages potentiels aux utilisateurs. En conclusion, 880S est un outil de photolithographie avancé conçu pour fournir des résultats précis et de haute qualité pour les processus simples et doubles faces. Avec une vaste gamme de fonctionnalités et de systèmes de sécurité, cet atout est un choix fiable et efficace pour toute application de photolithographie.
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